[实用新型]一种抗干扰晶圆测试机外壳有效
| 申请号： | 201720056109.6 | 申请日： | 2017-01-18 |
| 公开（公告）号： | CN206431166U | 公开（公告）日： | 2017-08-22 |
| 发明（设计）人： | 付关军 | 申请（专利权）人： | 深圳市德欣电器有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/04 | 分类号： | G01R1/04;G01R31/26 |
| 代理公司： | 北京同辉知识产权代理事务所(普通合伙)11357 | 代理人： | 魏忠晖 |
| 地址： | 518122 广东省深圳市坪山区龙田街道龙田社区*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种抗干扰晶圆测试机外壳，包括本体外壳和测试机，所述本体外壳的内顶部固定连接于探针台的上端，所述探针台上安装有探针卡，所述本体外壳内底部固定连接于支柱的底端，所述支柱固定连接于测试台的下表面，所述测试台的上表面通过负压吸附固定有转接板，所述转接板上电性连接有待测晶圆，所述探针台通过屏蔽信号线电性连接于测试机，所述测试机电性连接有显示模块。本实用新型可同时对MOS产品进行多工位检测，检测效率高；可以有效的对输出电压进行稳定，减小信号震荡，有利于检测结果的准确。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 抗干扰 测试 外壳 | ||
【主权项】：
一种抗干扰晶圆测试机外壳，包括本体外壳(4)和测试机(8)，其特征在于：所述本体外壳(4)的内顶部固定连接于探针台(3)的上端，所述探针台(3)上安装有探针卡(2)，所述本体外壳(4)内底部固定连接于支柱(7)的底端，所述支柱(7)固定连接于测试台(6)的下表面，所述测试台(6)的上表面通过负压吸附固定有转接板(5)，所述转接板(5)上电性连接有待测晶圆(9)，所述探针台(3)通过屏蔽信号线(10)电性连接于测试机(8)，所述测试机(8)电性连接有显示模块(1)。
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