[实用新型]一种真空设备用磁流体阀

摘要

本实用新型公开一种真空设备用磁流体阀，包括阀体和阀芯，所述阀体内设置空腔，所述空腔两头贯通，所述阀芯以贯穿所述空腔设置于阀体内，所述阀芯中段设置驱动阀芯水平移动吸合的驱动轴，所述驱动轴外层套有金属波纹管保护，所述阀体的空腔与阀芯之间缝隙设置密封体，所述密封体上开设多个两边对称的圆环槽，所述圆环槽内设置密封圈，所述阀体空腔后端设置用于阀芯运动减轻冲力的缓冲板；该装置针对性强，仅针对特殊真空设备炉使用，杜绝了泄漏事故，对密封设备中环境的污染，提高了产品良率。

主权项

一种真空设备用磁流体阀，包括阀体（16）和阀芯（17），其特征在于：所述阀体（16）内设置空腔（15），所述空腔（15）两头贯通，所述阀芯（17）以贯穿所述空腔（15）设置于阀体（16）内，所述阀芯（17）中段设置驱动阀芯水平移动吸合的驱动轴，所述驱动轴外层套有金属波纹管（13）保护，所述阀体（16）的空腔（15）与阀芯（17）之间缝隙设置密封体（12），所述密封体（12）上开设多个两边对称的圆环槽（14），所述圆环槽（14）内设置密封圈，所述阀体（16）的空腔（15）后端设置用于阀芯（17）运动减轻冲力的缓冲板（11）。