[实用新型]用于电化学沉积的夹具和电化学沉积装置有效
| 申请号： | 201720033214.8 | 申请日： | 2017-01-11 |
| 公开（公告）号： | CN206330932U | 公开（公告）日： | 2017-07-14 |
| 发明（设计）人： | 汤洋;白安琪;郭逦达 | 申请（专利权）人： | 神华集团有限责任公司;北京低碳清洁能源研究所 |
| 主分类号： | G01N27/42 | 分类号： | G01N27/42 |
| 代理公司： | 北京润平知识产权代理有限公司11283 | 代理人： | 韩冰,严政 |
| 地址： | 100011 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型属于电化学沉积领域，并公开了一种用于电化学沉积的夹具和电化学沉积装置。该夹具包括用于夹持生长基底的夹板、用于承载对电极的平板、用于安置参比电极的支撑件和底座，夹板和底座通过支柱固定在一起，平板通过支柱沿着第一方向可调节地安装在夹板和底座之间，且夹板、平板和底座相互平行，所述支撑件设置在夹板和平板之间，其中在所述夹板上安装有测温探头。该电化学沉积装置包括电解池、上述夹具、电化学工作站、水浴恒温系统、以及测温表和可选的显示终端，所述电解池用于放置所述夹具。采用本实用新型的电化学沉积装置制备的材料的均匀性可以得到极大提升。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 电化学 沉积 夹具 装置 | ||
【主权项】：
一种用于电化学沉积的夹具，其特征在于，该夹具包括用于夹持生长基底的夹板(1)、用于承载对电极的平板(2)、用于安置参比电极的支撑件(3)和底座(4)，夹板(1)和底座(4)通过支柱(5)固定在一起，平板(2)通过支柱(5)沿着第一方向(y)可调节地安装在夹板(1)和底座(4)之间，且夹板(1)、平板(2)和底座(4)相互平行，所述支撑件(3)设置在夹板(1)和平板(2)之间，其中在所述夹板(1)上安装有测温探头(16)。
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