[发明专利]敞开式离子源有效
| 申请号： | 201711492925.2 | 申请日： | 2017-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN108133878B | 公开（公告）日： | 2023-07-18 |
| 发明（设计）人： | 洪欢欢;闻路红;刘其强;巫德才;毕磊;赵鹏 | 申请（专利权）人： | 宁波大学;宁波华仪宁创智能科技有限公司 |
| 主分类号： | H01J49/06 | 分类号： | H01J49/06;H01J49/10 |
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| 地址： | 315000 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种敞开式离子源，所述敞开式离子源包括：外壳的两端开口；后盖固定在外壳的第一开口端，并具有适于气体管道穿过的通孔；气体管道设置在外壳内，一端穿过所述后盖，另一端连通放电模块的内部；放电模块设置在外壳内，放电模块呈筒形，自外向内设置壳体、电极和放电介质；第一导线的一端连接电极，另一端出头于所述外壳外；气体管道、放电模块和准直模块依次设置在外壳内，放电模块和准直模块之间的距离大于零；准直模块呈筒形，自外向内依次设置保护壳和金属管；第二导线的一端连接金属管，另一端出头于外壳外；从准直模块到外壳的第二开口端，外壳的内径逐渐收缩。本发明具有可靠性好、可操作性好等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 敞开 离子源 | ||
【主权项】：
敞开式离子源，其特征在于：所述敞开式离子源包括：外壳，所述外壳的两端开口；后盖，所述后盖固定在所述外壳的第一开口端，并具有适于气体管道穿过的通孔；气体管道，所述气体管道设置在所述外壳内，一端穿过所述后盖，另一端连通放电模块的内部；放电模块，所述放电模块设置在所述外壳内，所述放电模块呈筒形，自外向内设置壳体、电极和放电介质；第一导线的一端连接所述电极，另一端出头于所述外壳外；准直模块，所述气体管道、放电模块和准直模块依次设置在所述外壳内，所述放电模块和准直模块之间的距离大于零；所述准直模块呈筒形，自外向内依次设置保护壳和金属管；第二导线的一端连接所述金属管，另一端出头于所述外壳外；从所述准直模块到外壳的第二开口端，所述外壳的内径逐渐收缩。
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