[发明专利]敞开式离子源

权利要求书

1.敞开式离子源，其特征在于：所述敞开式离子源包括：

外壳，所述外壳的两端开口；

后盖，所述后盖固定在所述外壳的第一开口端，并具有适于气体管道穿过的通孔；

气体管道，所述气体管道呈螺旋状，设置在所述外壳内，一端穿过所述后盖，另一端连通放电模块的内部；

放电模块，所述放电模块设置在所述外壳内，所述放电模块呈筒形，自外向内设置壳体、电极和放电介质；第一导线的一端连接所述电极，另一端出头于所述外壳外；临着所述放电模块的上下游的外壳的内径小于放电模块的外径；所述外壳的环绕所述放电模块的部分被分割第一部分和第二部分：移开所述第二部分后，适于在第一部分内装入或取出所述放电模块；

准直模块，所述气体管道、放电模块和准直模块依次设置在所述外壳内，所述放电模块和准直模块之间的距离大于零；所述准直模块呈筒形，自外向内依次设置保护壳和金属管；第二导线的一端连接所述金属管，另一端出头于所述外壳外；从所述准直模块到外壳的第二开口端，所述外壳的内径逐渐收缩；临着所述准直模块的上下游的外壳的内径小于准直模块的外径；所述外壳的环绕所述准直模块的部分被分割第三部分和第四部分：移开所述第四部分后，适于在第三部分内装入或取出所述准直模块。

2.根据权利要求1所述的敞开式离子源，其特征在于：所述第一导线的另一端连接高压电，所述第二导线的另一端连接恒压源。

3.根据权利要求1所述的敞开式离子源，其特征在于：所述通孔、放电模块、准直模块和第二开口的中心轴线共线。

4.根据权利要求1所述的敞开式离子源，其特征在于：所述准直模块的内径大于所述放电模块的内径。

5.根据权利要求1所述的敞开式离子源，其特征在于：临着所述放电模块和准直模块的外壳的外壁具有绝缘套。