[发明专利]四元LED晶圆免涂覆激光表面切割装置及其方法在审
| 申请号： | 201711471009.0 | 申请日： | 2017-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN107971645A | 公开（公告）日： | 2018-05-01 |
| 发明（设计）人： | 赵裕兴;陈宇 | 申请（专利权）人： | 苏州德龙激光股份有限公司;江阴德力激光设备有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/38 | 分类号： | B23K26/38;B23K26/06;B23K26/064;B23K26/142;B23K26/70 |
| 代理公司： | 江苏圣典律师事务所32237 | 代理人： | 王玉国 |
| 地址： | 215021 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及四元LED晶圆免涂覆激光表面切割装置及方法，在皮秒激光器的光路输出端布置第一反射镜，第一反射镜反射光路上依次布置有扩束镜、第一偏振波片、偏振分光片、第二反射镜、第二偏振波片、第三反射镜以及激光切割头，激光切割头包含一维激光光束分束元件和激光聚焦镜，激光聚焦镜的上部通过位置旋转调节机构安装一维激光光束分束元件，可通过调节位置旋转调节机构调整分光光束位置，激光聚焦镜的光路输出端正对于待加工平台上的四元LED晶圆产品的表面。切割四元LED晶圆时可以省去涂覆保护液工序，有效提升切割效率；皮秒激光切割晶圆产生更小范围的热影响区，微裂纹、重熔再结晶可得到改善。 | ||
| 搜索关键词： | led 晶圆免涂覆 激光 表面 切割 装置 及其 方法 | ||
【主权项】：
四元LED晶圆免涂覆激光表面切割装置，其特征在于：皮秒激光器(1)的光路输出端布置第一反射镜(2)，第一反射镜(2)反射光路上依次布置有扩束镜(3)、第一偏振波片(4)、偏振分光片(5)、第二反射镜(6)、第二偏振波片(7)、第三反射镜(8)以及激光切割头，所述激光切割头包含一维激光光束分束元件(9)和激光聚焦镜(10)，激光聚焦镜(10)的上部通过位置旋转调节机构安装一维激光光束分束元件(9)，可通过调节位置旋转调节机构调整分光光束位置，激光聚焦镜(10)的光路输出端正对于待加工平台(12)上的四元LED晶圆产品的表面。
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