[发明专利]一种具有谐振腔波导的光谱调控器件

摘要

本发明提出了一种具有六边形谐振腔的表面等离子体激元光谱调控器件，分析了该结构的多通道带通滤波特性，进而在腔内引入单/双矩形波导调控谐振腔的共振模式，通过明暗模式干涉效应，实现多个Fano共振现象，并通过改变耦合距离或局部调整矩形波导的宽度、个数、位置等参数，可对Fano共振进行有效地调谐，实现多个非对称线型的Fano共振峰。该亚波长结构可广泛用于光传感与光检测等领域，为纳米集成光子学的发展提供有力支撑。

主权项

一种具有谐振腔波导的光谱调控器件，其包括基板以及设置于基板内部的第一波导、第一耦合器、第二波导、第二耦合器、谐振腔，其特征在于：谐振腔内还设置有与第一波导和第二波导垂直的竖直波导，谐振腔位于第一波导与第二波导之间，竖直波导位于谐振腔中间，第一耦合器位于第一波导与谐振腔之间，第二耦合器位于第二波导与谐振腔之间，第一波导为靠近基板左端的第一空腔，该第一空腔为一端开口，另一端封闭，第二波导为靠近基板右端的第二空腔，该第二空腔一端开口，另一端封闭，该第一空腔和第二空腔沿着基板的长度方向延伸，光从第一波导的一端进入，沿着第一波导的表面传输至另一端后，通过第一耦合器将光耦合至谐振腔内，光在谐振腔的表面进行传输，经过竖直波导后输出到谐振腔的输出端，然后传输至第二波导的另一端，光沿着第二波导的表面进行传输至第二波导的一端。