[发明专利]一种透射光栅衍射效率的检测系统在审
| 申请号： | 201711463346.5 | 申请日： | 2017-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN108036930A | 公开（公告）日： | 2018-05-15 |
| 发明（设计）人： | 李旭;马洪涛 | 申请（专利权）人： | 长春长光精密仪器集团有限公司 |
| 主分类号： | G01M11/02 | 分类号： | G01M11/02 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 王宝筠 |
| 地址： | 130000 吉林省长春*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种透射光栅衍射效率的检测系统，包括：用于生成包括软X射线和极紫外波段的入射光束的激光等离子体光源；用于接收所述入射光束、且选择所述软X射线或所述极紫外波段出射的单色分光装置，其中，待测透射光栅设置于所述单色分光装置的出光光路上；以及，用于接收所述单色分光装置的出射图像或接收所述待测透射光栅的衍射图像的接收装置，以根据所述出射图像和所述衍射图像分析所述待测透射光栅的相对衍射效率和/或绝对衍射效率。由上述内容可知，本发明提供的技术方案，采用的激光等离子体光源具有体积小、价格低等优点，能够满足众多实验室的需求，并且本发明提供的检测系统同样具有结构简单、调试方便、成本低廉的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 透射 光栅 衍射 效率 检测 系统 | ||
【主权项】：
1.一种透射光栅衍射效率的检测系统，其特征在于，包括：用于生成包括软X射线和极紫外波段的入射光束的激光等离子体光源；用于接收所述入射光束、且选择所述软X射线或所述极紫外波段出射的单色分光装置，其中，待测透射光栅设置于所述单色分光装置的出光光路上；以及，用于接收所述单色分光装置的出射图像或接收所述待测透射光栅的衍射图像的接收装置，以根据所述出射图像和所述衍射图像分析所述待测透射光栅的相对衍射效率和/或绝对衍射效率。
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