[发明专利]一种晶片的倒边方法在审

专利信息
申请号: 201711457843.4 申请日: 2017-12-28
公开(公告)号: CN108177080A 公开(公告)日: 2018-06-19
发明(设计)人: 李小菊;赵敏;蒋振声;候书超;唐健玻;谢俊超 申请(专利权)人: 应达利电子股份有限公司
主分类号: B24B31/03 分类号: B24B31/03
代理公司: 深圳市恒申知识产权事务所(普通合伙) 44312 代理人: 袁文英
地址: 518000 广东省深圳市宝安区福永街道*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明实施例提供一种晶片的倒边方法,涉及材料加工技术领域。其中,该方法包括:将晶片、研磨砂、研磨球和缓冲液混合,置于滚筒中,在转速为560pm的条件下转动10min,得到倒边后的晶片,其中,晶片的数量与研磨砂的质量、研磨球的质量以及缓冲液的体积的比值为500件:5g:10g:10mL,研磨珠直径5mm,缓冲液为分散剂和防锈剂的水溶液,其中分散剂、防锈剂和水的质量比为0.5:0.1:1,分散剂为三乙基己基磷酸和聚丙烯酰胺中的至少一种,防锈剂为烷基醇酰胺和柠檬酸钠中的至少一种。通过将、研磨砂、研磨球和缓冲液混合,得到倒边的晶片,不需要更换研磨砂,操作流程简单还可以的提高倒边效率。
搜索关键词: 倒边 缓冲液 研磨砂 晶片 防锈剂 分散剂 研磨球 种晶 三乙基己基磷酸 材料加工技术 聚丙烯酰胺 烷基醇酰胺 操作流程 柠檬酸钠 研磨珠 质量比 滚筒 转动
【主权项】:
1.一种晶片的倒边方法,其特征在于,所述方法包括:将晶片、研磨砂、研磨球和缓冲液混合,置于滚筒中,在转速为50‑560rpm的条件下转动10‑3000min,得到倒边后的晶片;其中,晶片的数量与研磨砂的质量、研磨球的质量以及缓冲液的体积的比值为500‑50000件:5‑500g:10~500g:10~500mL;缓冲液为分散剂和防锈剂的水溶液,其中分散剂、防锈剂和水的质量比为0.2~0.7:0.05~0.2:1~1000,分散剂为三乙基己基磷酸和聚丙烯酰胺中的至少一种,防锈剂为烷基醇酰胺和柠檬酸钠中的至少一种。
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