[发明专利]可饱和吸收体制备方法、可饱和吸收体及锁模激光器在审
申请号: | 201711455794.0 | 申请日: | 2017-12-28 |
公开(公告)号: | CN109980491A | 公开(公告)日: | 2019-07-05 |
发明(设计)人: | 曾远康;陶丽丽;曾龙辉;龙慧 | 申请(专利权)人: | 香港理工大学 |
主分类号: | H01S3/098 | 分类号: | H01S3/098 |
代理公司: | 隆天知识产权代理有限公司 72003 | 代理人: | 李昕巍;章侃铱 |
地址: | 中国香港九龙红磡理*** | 国省代码: | 中国香港;81 |
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摘要: | 本申请公开一种可饱和吸收体制备方法、可饱和吸收体及锁模激光器。其中,可饱和吸收体制备方法包括:通过磁控溅射法在石英衬底上沉积铂元素薄膜;将所述铂元素薄膜放置于管式炉中进行热处理以获取二硒化铂薄膜,其中,所述热处理中,管式炉上游低温区放置高纯硒粉;以及通过所述二硒化铂薄膜制备可饱和吸收体。本申请公开的可饱和吸收体制备方法,具有制备方法简单,可实现工业化生产的优点。 | ||
搜索关键词: | 可饱和吸收 可饱和吸收体 锁模激光器 热处理 铂薄膜 管式炉 硒化 制备 薄膜 磁控溅射法 低温区 高纯硒 石英衬 沉积 申请 上游 | ||
【主权项】:
1.一种可饱和吸收体制备方法,其特征在于,包括:通过磁控溅射法在石英衬底上沉积铂元素薄膜;将所述铂元素薄膜放置于管式炉中进行热处理以获取二硒化铂薄膜,其中,在热处理中,管式炉上游低温区放置高纯硒粉;以及通过所述二硒化铂薄膜制备可饱和吸收体。
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