[发明专利]划片设备在审
申请号: | 201711452679.8 | 申请日: | 2017-12-28 |
公开(公告)号: | CN109384377A | 公开(公告)日: | 2019-02-26 |
发明(设计)人: | 李峻硕;卢光硕 | 申请(专利权)人: | 塔工程有限公司 |
主分类号: | C03B33/023 | 分类号: | C03B33/023;C03B33/10 |
代理公司: | 隆天知识产权代理有限公司 72003 | 代理人: | 黄艳;李英艳 |
地址: | 韩国庆*** | 国省代码: | 韩国;KR |
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摘要: | 本发明实施例的划片设备包括加载台以及基板支撑部,所述基板支撑部配置在加载台的上部并包括支撑基板的支撑件和移动单元,所述移动单元使支撑件移动,以形成供基板通过的开口,以便将基板传递到加载台,移动单元包括第一移动模块和第二移动模块,所述第一移动模块与支撑件连接,以使支撑件移动,第二移动模块与第一移动模块连接,使第一移动模块移动。 | ||
搜索关键词: | 移动模块 支撑件 移动单元 加载台 基板支撑部 划片设备 基板 移动 支撑基板 开口 传递 配置 | ||
【主权项】:
1.一种划片设备,其中,包括:加载台;以及基板支撑部,所述基板支撑部配置在所述加载台的上部,所述基板支撑部包括支撑基板的支撑件和移动单元,所述移动单元使所述支撑件移动,以形成供所述基板通过的开口,以便将所述基板传递到所述加载台,其中,所述移动单元包括第一移动模块以及第二移动模块,所述第一移动模块与所述支撑件连接,使所述支撑件移动,所述第二移动模块与所述第一移动模块连接,使所述第一移动模块移动。
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