[发明专利]划片设备

权利要求书

1.一种划片设备，其中，包括：

加载台；以及

基板支撑部，所述基板支撑部配置在所述加载台的上部，所述基板支撑部包括支撑基板的支撑件和移动单元，所述移动单元使所述支撑件移动，以形成供所述基板通过的开口，以便将所述基板传递到所述加载台，

其中，所述移动单元包括第一移动模块以及第二移动模块，所述第一移动模块与所述支撑件连接，使所述支撑件移动，所述第二移动模块与所述第一移动模块连接，使所述第一移动模块移动。

2.如权利要求1所述的划片设备，其中，所述第一移动模块相比于所述第二移动模块以低速进行运转。

3.如权利要求1所述的划片设备，其中，所述第一移动模块相比于所述第二移动模块以高精密度进行运转。

4.如权利要求1所述的划片设备，其中，所述支撑件包括挡件，当所述基板向所述支撑件移送之际，所述挡件与所述基板的先行端接触。

5.如权利要求4所述的划片设备，其中，所述支撑件的挡件被设置在沿基板被移送至所述支撑件的移送方向的所述支撑件的远端，用以确定基板在所述移送方向上的位置。

6.如权利要求1所述的划片设备，其中，

所述支撑件由能向相互邻接或相互远离的方向移动的一对支撑件构成；

所述第一移动模块由分别与所述一对支撑件连接的一对第一移动模块构成；

所述一对第一移动模块使所述一对支撑件以相同方向以及相同速度进行移动。

7.如权利要求1所述的划片设备，其中，

所述支撑件由能向相互邻接或相互远离的方向移动的一对支撑件构成；

所述第二移动模块由分别与所述一对支撑件连接的一对第二移动模块构成；

所述一对第二移动模块使所述一对支撑件以相互邻接的方向以及相互远离的方向移动。

8.如权利要求1所述的划片设备，还包括：

位置测定部，位于所述支撑件的上方，用于测定设置于所述支撑件上的所述基板的至少一部分的位置，所述移动单元根据所述位置测定部测定的所述基板的至少一部分的位置，来调整被所述支撑件支撑的所述基板在垂直于所述基板被移送至所述支撑件的移送方向的方向上的位置。

9.如权利要求8所述的划片设备，还包括：

将所述基板从所述基板支撑部传递至所述加载台的基板传递部，

所述基板传递部包括：旋转单元，其根据所述位置测定部测定的所述基板的至少一部分的位置，来调整所述支撑件上的所述基板的旋转位置。

10.如权利要求8所述的划片设备，其中还包括：

将所述基板从所述基板支撑部传递至所述加载台的基板传递部，

所述位置测定部一体地安装于所述基板传递部，或者安装在与所述基板传递部分离的独立的位置。