[发明专利]压电元件以及压电元件应用器件在审

专利信息
申请号: 201711448714.9 申请日: 2017-12-27
公开(公告)号: CN108630801A 公开(公告)日: 2018-10-09
发明(设计)人: 北田和也 申请(专利权)人: 精工爱普生株式会社
主分类号: H01L41/047 分类号: H01L41/047;H01L41/187;B41J2/14
代理公司: 北京金信知识产权代理有限公司 11225 代理人: 苏萌萌;权太白
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 发明提供一种无异相且绝缘性优异的具有KNN系压电体层的压电元件及压电元件应用器件。压电元件(300)具备第一电极(60)、第二电极(80)以及设置于上述第一电极(60)与上述第二电极(80)之间且由含有钾、钠、铌和锰的钙钛矿型氧化物构成的压电体层(70),其中,上述压电体层(70)中的上述钙钛矿型氧化物的A位点构成元素的比例比B位点构成元素的比例少,在该压电体层的XRD测定中,在44°<2θ<48°的范围内具有两个以上的来源于上述钙钛矿型氧化物的峰值,并且上述峰值中的强度最高的峰值X与强度最低的峰值Y之间的强度比(X/Y)满足下述式子:2.0<(X/Y)。
搜索关键词: 压电元件 压电体层 钙钛矿型氧化物 第二电极 第一电极 构成元素 应用器件 位点 绝缘性 强度比
【主权项】:
1.一种压电元件,其特征在于,具备:第一电极;第二电极;以及压电体层,其被设置于所述第一电极与所述第二电极之间,且由含有钾、钠、铌和锰的钙钛矿型氧化物构成,所述压电体层中的所述钙钛矿型氧化物的A位点构成元素的比例比B位点构成元素的比例少,在该压电体层的XRD测定中,在44°<2θ<48°的范围内具有两个以上的来源于所述钙钛矿型氧化物的峰值,并且所述峰值中的强度最高的峰值X与强度最低的峰值Y之间的强度比即X/Y满足下述式子:2.0<(X/Y)。
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