[发明专利]一种反射镜面形的在线检测方法

摘要

本发明实施例公开了一种反射镜面形的在线检测方法。该反射镜面形的在线检测方法基于条纹反射原理，通过显示器显示理想周期变化的条纹图像，再通过孔径相机采集经超精密切削机床加工反射镜反射形成的条纹图像，以条纹图像的弯曲程度判断和重构反射镜面形，实现反射镜面形的在线检测。本发明实施例中所提供的反射镜面形的在线检测方法无需光学补偿器件，也无需精密位姿调整，从而可检测任意光滑连续面形的反射镜，该方法比现有的激光干涉检测仪在线检测方法的动态范围更大，比现有的采用接触式或非接触式传感器的逐点测距扫描在线检测方法的时间更短且受机床精度及环境条件的影响更小。

主权项

1.一种反射镜面形的在线检测方法，其特征在于，所述方法包括以下步骤：步骤S1：在切削机床的主体的预设位置处设置一显示器和一孔径相机；步骤S2：在检测反射镜面形时，所述显示器显示特征点斑，所述孔径相机采集经过反射镜反射所述特征点斑的点斑图像；步骤S3：所述显示器依次显示一组具有相位变化的水平条纹，所述孔径相机采集经过反射镜反射所述水平条纹的水平条纹图像；所述显示器依次显示一组具有相位变化的竖直条纹，所述孔径相机采集经过反射镜反射所述竖直条纹的竖直条纹图像；步骤S4：根据所述显示器显示的特征点斑与所述孔径相机采集的点斑图像，计算所述显示器图像坐标系和所述孔径相机的像面坐标系的共相位点关系；步骤S5：根据所述孔径相机所采集的水平条纹图像和竖直条纹图像，进行相位展开和解算重构获得所述反射镜的面形分布。