[发明专利]一种积分漂零补偿的电路实现方法在审
| 申请号： | 201711443184.9 | 申请日： | 2018-06-12 |
| 公开（公告）号： | CN108303185A | 公开（公告）日： | 2018-07-20 |
| 发明（设计）人： | 曹益平 | 申请（专利权）人： | 四川大学 |
| 主分类号： | G01J11/00 | 分类号： | G01J11/00;G01J1/44 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 610065 四川*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明是光刻系统中，针对步进扫描方法测量脉冲激光光场，提高探测精度的方法。采用基于差分原理的双积分器补偿方法，在实际电路中选用性能参数一致的器件设计电路，最大限度地抑制积分零漂对检测结果的影响。针对扫描测量这种测量方式，设计了一种同步控制时序的方案，使测量系统能够自动精确地实时触发控制测量。 | ||
| 搜索关键词： | 测量 脉冲激光光 时序 步进扫描 测量系统 触发控制 电路实现 方法测量 光刻系统 检测结果 器件设计 扫描测量 实际电路 双积分器 同步控制 性能参数 零漂 电路 探测 | ||
【主权项】：
1.一种积分零漂补偿的电路实现方法，其特征在于，采用基于差分原理的双积分器补偿方法，在实际电路中选用性能参数一致的器件设计电路，最大限度地抑制积分零漂对检测结果的影响，针对扫描测量这种测量方式，设计了一种同步控制时序的方案，使测量系统能够自动精确地实时触发控制测量。
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