[发明专利]一种用弹簧结构作为固定电极触点的纵向驱动阈值传感器

摘要

本发明属于微机电系统技术领域，具体涉及一种用弹簧结构作为固定电极的纵向驱动阈值传感器。包括衬底、阻尼减弱结构、可动电极支撑柱、可动电极悬挂弹簧、可动质量块、固定电极支撑柱、固定电极和固定电极弹性触点。衬底上固定设置有阻尼减弱结构、可动电极支撑柱和固定电极支撑柱。固定电极悬空连接在固定电极支撑柱上，固定电极弹性触点一端与固定电极连接，另一端通过镂空正方形连接。可动电极悬挂弹簧一端与可动质量块相连、另一端与可动电极支撑柱相连并将可动质量块悬空于阻尼减弱结构和固定电极之间。该传感器引入了传动传导的原理，通过对两组电极弹簧的刚度优化，使得电极之间的碰撞接触成为柔性弹簧之间的振动传递过程。

主权项

1.一种用弹簧结构作为固定电极触点的纵向驱动阈值传感器，包括衬底（1）、阻尼减弱结构（2）、可动电极支撑柱（3）、可动电极悬挂弹簧（4）、可动质量块（5）、固定电极支撑柱（6）、固定电极悬臂梁（7）和固定电极弹性触点（8），其特征在于：衬底（1）为绝缘体，衬底（1）上固定设有阻尼减弱结构（2）、可动电极支撑柱（3）和固定电极支撑柱（6），阻尼减弱结构（2）为长方形结构，呈四边形对称分布；所述可动质量块（5）为正方形结构，可动质量块（5）的中心设有贯穿可动质量块（5）的导流孔；固定电极悬臂梁（7）为正方形框架结构，固定电极悬臂梁（7）的四个角点向外延伸悬空连接在固定电极支撑柱（6）上；所述可动电极悬挂弹簧（4）为蛇形弹簧，可动电极悬挂弹簧（4）一端与可动质量块（5）相连、另一端与可动电极支撑柱（3）相连并将可动质量块（5）悬空于阻尼减弱结构（2）和固定电极悬臂梁（7）之间，可动电极悬挂弹簧（4）与可动质量块（5）对称分布；所述固定电极弹性触点（8）为U形弹簧，固定电极弹性触点（8）一端与固定电极悬臂梁（7）连接、另一端通过内圆外方的镂空正方形连接悬空在固定电极悬臂梁（7）上，镂空正方形位于固定电极悬臂梁（7）中间。