[发明专利]一种用弹簧结构作为固定电极触点的纵向驱动阈值传感器

权利要求书

1.一种用弹簧结构作为固定电极触点的纵向驱动阈值传感器，包括衬底（1）、阻尼减弱结构（2）、可动电极支撑柱（3）、可动电极悬挂弹簧（4）、可动质量块（5）、固定电极支撑柱（6）、固定电极悬臂梁（7）和固定电极弹性触点（8），其特征在于：衬底（1）为绝缘体，衬底（1）上固定设有阻尼减弱结构（2）、可动电极支撑柱（3）和固定电极支撑柱（6），阻尼减弱结构（2）为长方形结构，呈四边形对称分布；

所述可动质量块（5）为正方形结构，可动质量块（5）的中心设有贯穿可动质量块（5）的导流孔；固定电极悬臂梁（7）为正方形框架结构，固定电极悬臂梁（7）的四个角点向外延伸悬空连接在固定电极支撑柱（6）上；

所述可动电极悬挂弹簧（4）为蛇形弹簧，可动电极悬挂弹簧（4）一端与可动质量块（5）相连、另一端与可动电极支撑柱（3）相连并将可动质量块（5）悬空于阻尼减弱结构（2）和固定电极悬臂梁（7）之间，可动电极悬挂弹簧（4）与可动质量块（5）对称分布；

所述固定电极弹性触点（8）为U形弹簧，固定电极弹性触点（8）一端与固定电极悬臂梁（7）连接、另一端通过内圆外方的镂空正方形连接悬空在固定电极悬臂梁（7）上，镂空正方形位于固定电极悬臂梁（7）中间。

2.根据权利要求1所述用弹簧结构作为固定电极触点的纵向驱动阈值传感器，其特征在于：阻尼减弱结构（2）长100—300微米，宽10—100微米，厚5—50微米。

3.根据权利要求1所述用弹簧结构作为固定电极触点的纵向驱动阈值传感器，其特征在于：可动电极悬挂弹簧（4）由四组蛇形弹簧组成，弹簧线宽5—50微米，厚5—50微米。

4.根据权利要求1所述用弹簧结构作为固定电极触点的纵向驱动阈值传感器，其特征在于：可动质量块（5）边长600—1500微米，厚20—300微米，可动质量块（5）上的导流孔孔径100—300微米，可动质量块（5）悬空在阻尼减弱结构（2）上方5—100微米，可动质量块（5）悬空在固定电极悬臂梁（7）下方5—100微米，可动质量块（5）的四边为凹槽状。

5.根据权利要求1所述用弹簧结构作为固定电极触点的纵向驱动阈值传感器，其特征在于：固定电极弹性触点（8）为四根U形弹簧，弹簧线宽10—100微米、厚5—50微米、长200—600微米，固定电极弹性触点（8）的中心距可动质量块（5）边线的垂直距离为5—50微米。