[发明专利]微元件转移装置和转移方法

摘要

本发明涉及一种微元件转移装置和利用该转移装置进行微元件转移的方法。该转移装置包括第一传输装置、第一载盘、第二载盘、挤压装置和释放装置；第一传输装置包括传输带，其下表面设有可分解胶材；第一载盘和第二载盘，分别用于放置待转移的微元件和接收转移后的微元件；挤压装置可在垂直方向上、下移动，用于挤压传输带，使传输带上的可分解胶材接触并抓取其下方的微元件；释放装置用于促使所述传输带的可分解胶材分解，从而释放传输带抓取的微元件。本发明提供的转移装置和方法，通过挤压装置、释放装置和分解胶材的结合，在准确定位的同时，实现一个或多个微元件的高效转移。

主权项

1.一种微元件转移装置，其特征在于：所述转移装置包括第一传输装置、第一载盘、第二载盘、挤压装置和释放装置；所述第一传输装置包括驱动电机、传输带、与所述传输带两个端部分别连接的第一转轴和牵引机构，所述传输带在驱动电机的带动下由第一转轴向牵引机构移动，其下表面设有可分解胶材；所述第一载盘和第二载盘，设置于所述传输带的下方，按传输带的移动方向依次放置，其中所述第一载盘用于放置待转移的微元件，所述第二载盘用于接收转移后的微元件；所述挤压装置可在垂直方向上、下移动，用于挤压所述传输带，使所述传输带上的可分解胶材接触并抓取其下方的微元件；所述释放装置用于促使所述传输带的可分解胶材分解，从而释放所述传输带抓取的微元件。