[发明专利]一种预防单晶掉落的装置有效
申请号: | 201711426647.0 | 申请日: | 2017-12-25 |
公开(公告)号: | CN109957833B | 公开(公告)日: | 2020-10-27 |
发明(设计)人: | 王雅楠;刘卓;韩秋雨;姜舰;翟顺元;张金义 | 申请(专利权)人: | 有研半导体材料有限公司 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00;C30B29/06 |
代理公司: | 北京北新智诚知识产权代理有限公司 11100 | 代理人: | 刘秀青 |
地址: | 101300 北京*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明公开了一种预防单晶掉落的装置。该装置包括单晶炉拉伸筒、下法兰、金属弯头、连接杆及底托,下法兰安装在单晶炉拉伸筒的下端,下法兰上设有金属柱,金属弯头上设有供该金属柱穿过的孔,金属弯头的下端与连接杆一端相连,连接杆的另一端连接底托。在取单晶时,先将晶体上升到拉伸筒内,将金属弯头挂在拉伸筒下法兰的金属柱子上,用连接杆连接好金属弯头与底托,将晶体下降,使晶体的尾部(尖)下降到底托的孔中,再将拉伸筒旋出。旋转到位后,将金属弯头从金属柱上取下,再将晶体落下取单晶棒。采用本发明的装置能够在取出单晶过程中预防发生意外,安全、方便地进行取棒操作。 | ||
搜索关键词: | 一种 预防 掉落 装置 | ||
【主权项】:
1.一种预防单晶掉落的装置,其特征在于,包括单晶炉拉伸筒、下法兰、金属弯头、连接杆及底托,下法兰安装在单晶炉拉伸筒的下端,下法兰上设有金属柱,金属弯头上设有供该金属柱穿过,金属弯头的下端与连接杆一端相连,连接杆的另一端连接底托。
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