[发明专利]一种精密调平吸附台

摘要

本发明公开了一种精密调平吸附台，包括：基座；吸附盘，通过至少三个均匀分布的螺钉安装在基座上；调平装置，吸附盘和基座之间的每一螺钉安装处设有一个调平装置；调平装置包括固定楔块、移动楔块和精密促动器，移动楔块可移动的置于固定楔块和基座之间。由于在基座和吸附盘之间设有通过楔形移动的调平装置，调平装置将移动楔块的左右移动转化为固定楔块的上下移动，从而实现驱动吸附盘上下调平，取代了现有技术中吸附盘直接上下调平，调平装置通过倾斜率的设置，实现对吸附盘上下移动的放大，从而具有更高的调平精度，本精密调平吸附台的结构也较为简单，成本低，并适用于手动或电动驱动调节。

主权项

1.一种精密调平吸附台，其特征在于，包括：基座；吸附盘，通过至少三个均匀分布的螺钉安装在所述基座上；调平装置，所述吸附盘和基座之间的每一螺钉安装处设有一个所述调平装置；所述调平装置包括固定楔块、移动楔块和精密促动器，所述固定楔块固定在所述吸附盘的底面，所述移动楔块可移动的置于所述固定楔块和基座之间，所述固定楔块和移动楔块上设有孔径大于所述螺钉外径的通孔；所述基座的边缘设有凸起的安装块，所述精密促动器的安装在所述安装孔的安装孔内，并与所述移动楔块连接，所述精密促动器用于驱动移动楔块移动，以推动吸附盘调平。