[发明专利]低温离子泵在审
申请号: | 201711418076.6 | 申请日: | 2017-12-24 |
公开(公告)号: | CN108302007A | 公开(公告)日: | 2018-07-20 |
发明(设计)人: | 邓家良;冯苌春;曾环;孙志和;武义锋 | 申请(专利权)人: | 安徽万瑞冷电科技有限公司 |
主分类号: | F04B37/02 | 分类号: | F04B37/02 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 230088 安*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | 本发明公开了一种低温离子泵,其特征在于,包括:壳体,其顶部设有吸入气体的开口;磁体,安装于所述壳体左右两侧表面;G‑M制冷机,其包括分体连接的膨胀机和压缩机,所述壳体底部安装于所述膨胀机上;冷却台,连接所述膨胀机,通过所述壳体底部设有的通孔伸入所述壳体内;传热板,热连接安装于所述冷却台上表面;阴极板,热连接安装于所述传热板上;以及阳极筒,以任何方式绝缘地安装于所述壳体内,且位于所述阴极板间。本发明提供的低温离子泵可对阴极板进行可靠的制冷,显著增强对氢气以及部分稀有气体的排气能力。 | ||
搜索关键词: | 低温离子 阴极板 壳体 传热板 膨胀机 热连接 体内 壳体左右两侧 分体连接 排气能力 吸入气体 稀有气体 氢气 冷却台 阳极筒 制冷机 压缩机 伸入 通孔 绝缘 制冷 冷却 开口 膨胀 | ||
【主权项】:
1.一种低温离子泵,其特征在于,包括:壳体,其顶部设有吸入气体的开口;磁体,安装于所述壳体左右两侧表面;G‑M制冷机,其包括分体连接的膨胀机和压缩机,所述壳体底部安装于所述膨胀机上;冷却台,连接所述膨胀机,通过所述壳体底部设有的通孔伸入所述壳体内;传热板,热连接安装于所述冷却台上表面;阴极板,热连接安装于所述传热板上;以及阳极筒,以任何方式绝缘地安装于所述壳体内,且位于所述阴极板间。
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