[发明专利]测量图案化装置级的交换劲度的方法有效
| 申请号： | 201711405905.7 | 申请日： | 2017-12-22 |
| 公开（公告）号： | CN108333539B | 公开（公告）日： | 2022-04-19 |
| 发明（设计）人： | 伊利亚·克里沃罗托夫;罗伯特·比奇;沙承岑;德米特罗·埃帕尔科夫;弗拉基米尔·弗辛亚科 | 申请（专利权）人： | 三星电子株式会社 |
| 主分类号： | G01R33/12 | 分类号： | G01R33/12;G11C11/16 |
| 代理公司： | 北京铭硕知识产权代理有限公司 11286 | 代理人： | 尹淑梅;田野 |
| 地址： | 韩国京畿*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种确定存在于磁性结中的自由层的交换劲度的方法。所述方法包括对磁性结执行自旋转矩铁磁共振(ST‑FMR)测量。ST‑FMR测量表示与自由层中的自旋波模式对应的特征频率。所述方法也包括基于多个特征频率计算自由层的交换劲度。在一些实施例中，磁性结存在于包括用于装置的其它磁性结的晶圆上。其它磁性结可以布置为磁性存储器。经受ST‑FMR的磁性结具有与其它磁性结不同的纵横比。 | ||
| 搜索关键词： | 测量 图案 化装 交换 方法 | ||
【主权项】：
1.一种用于确定存在于磁性结中的自由层的交换劲度的方法，所述方法包括：对磁性结执行多个自旋转矩铁磁共振测量，所述多个自旋转矩铁磁共振测量表示与自由层中的多个自旋波模式对应的多个特征频率；基于所述多个特征频率计算自由层的交换劲度。
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