[发明专利]一种解码大脑活动的针状高密度电极阵列的制备方法有效
| 申请号： | 201711398784.8 | 申请日： | 2017-12-22 |
| 公开（公告）号： | CN109962013B | 公开（公告）日： | 2020-12-04 |
| 发明（设计）人： | 徐淮良;裴为华;苏越;王飞;詹学鹏;张雪莲;张旭;陈弘达 | 申请（专利权）人： | 吉林大学;中国科学院半导体研究所 |
| 主分类号： | H01L21/28 | 分类号： | H01L21/28;H01L21/822 |
| 代理公司： | 长春吉大专利代理有限责任公司 22201 | 代理人： | 刘世纯 |
| 地址： | 130012 吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种解码大脑活动的针状高密度电极阵列的制备方法，属于高密度电极阵列制备技术领域，首先通过Cadence软件设计需要的电极连线和电极记录位点，采用标准的0.18μm CMOS流片工艺，制备出有高密度电极阵列的硅基片，然后利用碳化硅粉末将基片进行减薄，然后用抛光液对基片进行抛光处理提高基片表面质量，最后通过程序控制扫描振镜的方式来控制飞秒激光的运动轨迹，在基片上图案化切割出具有生物安全性、稳定性并且边缘光滑的针状高密度电极阵列，便于在植入脑内过程中不损伤神经纤维，实现对神经元活动信号高精度的采集。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 解码 大脑 活动 针状 高密度 电极 阵列 制备 方法 | ||
【主权项】：
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H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
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