[发明专利]气体浓度检测装置和气体浓度检测方法有效

专利信息
申请号: 201711394388.8 申请日: 2017-12-21
公开(公告)号: CN108120805B 公开(公告)日: 2021-04-20
发明(设计)人: 陈义强;何江;恩云飞;师谦;黄云;来萍;黄亚兰;吴谋智;刘远 申请(专利权)人: 中国电子产品可靠性与环境试验研究所
主分类号: G01N33/00 分类号: G01N33/00
代理公司: 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 代理人: 黄晓庆
地址: 511300 广东省*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明涉及一种气体浓度检测装置和气体浓度检测方法,包括真空的检测腔体、气体浓度检测传感器、真空的取样元件以及检测分析仪;取样元件与检测腔体连接,检测腔体与外部存储待检测气体的密封腔体连接,气体浓度检测传感器设置于检测腔体内,检测分析仪分别与气体浓度检测传感器以及取样元件连接。上述气体浓度检测装置,通过气体浓度检测传感器和真空的检测腔体对气体进行浓度检测,可以得到实时准确的检测结果,通过取样元件对密封腔体内的气体进行取样,并利用检测分析仪分析得到更为精确的检测结果,而且通过检测分析仪对比两种浓度检测结果,判断传感器是否发生故障,从而避免了因传感器故障导致获得错误的浓度信息,使检测结果更为准确。
搜索关键词: 气体 浓度 检测 装置 方法
【主权项】:
一种气体浓度检测装置,其特征在于,包括真空的检测腔体、气体浓度检测传感器、真空的取样元件以及用于接收所述气体浓度检测传感器发送的传感器检测结果,并对所述取样元件中的取样气体进行浓度分析,得到取样检测结果,通过对比所述传感器检测结果与所述取样检测结果,判断所述气体浓度检测传感器是否故障的检测分析仪;所述取样元件与所述检测腔体连接,所述检测腔体与外部存储待检测气体的密封腔体连接,所述气体浓度检测传感器设置于所述检测腔体内,所述检测分析仪分别与所述气体浓度检测传感器以及所述取样元件连接。
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