[发明专利]一种小型高精度气体配比器在审
申请号: | 201711387869.6 | 申请日: | 2017-12-20 |
公开(公告)号: | CN108043323A | 公开(公告)日: | 2018-05-18 |
发明(设计)人: | 缪立峰;胡跃钢 | 申请(专利权)人: | 捷锐企业(上海)有限公司 |
主分类号: | B01F15/04 | 分类号: | B01F15/04 |
代理公司: | 上海天翔知识产权代理有限公司 31224 | 代理人: | 刘常宝 |
地址: | 201600 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明公开了一种小型高精度气体配比器,采用气体配比阀直接控制气体混合比例,并采用压力互补式稳压器,使得用于配比的多路气体压力相互补偿,保持压力一致进入气体配比阀。本方案摒弃流量测试方式,直接控制气体混合比例,提高混合气体的浓度精度,有效克服现有技术所存在的缺陷;再者本方案采用集成模块结构,将各元件通过集成块组成系统,无管道设计,有效解决管道布置及泄漏和维修不便的问题。 | ||
搜索关键词: | 一种 小型 高精度 气体 配比 | ||
【主权项】:
1.小型高精度气体配比器,其特征在于,采用气体配比阀直接控制气体混合比例,并采用压力互补式稳压器,使得用于配比的多路气体压力相互补偿,保持压力一致进入气体配比阀。
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