[发明专利]一种小型高精度气体配比器

权利要求书

1.小型高精度气体配比器，其特征在于，采用气体配比阀直接控制气体混合比例，并采用压力互补式稳压器，使得用于配比的多路气体压力相互补偿，保持压力一致进入气体配比阀。

2.根据权利要求1所述的小型高精度气体配比器，其特征在于，所述气体配比阀为联动式双锥三路比例控制阀。

3.根据权利要求1所述的小型高精度气体配比器，其特征在于，所述气体配比阀包括包括集成阀体，该集成阀体上具有进气口，出气口以及与压力互补式稳压器相配合的流道口，并设置有进气压力监测口；该集成阀体内部集成有进气单向阀和双锥比例调节阀，该双锥比例调节阀配置浓度比例调节旋钮。

4.根据权利要求1所述的小型高精度气体配比器，其特征在于，所述压力互补式稳压器包括双路互补稳压模块，该双路互补稳压模块分别安装于气体配比阀两侧，形成配比器模组。

5.根据权利要求4所述的小型高精度气体配比器，其特征在于，所述双路互补稳压模块对称分布，形成双级互补稳压结构。

6.根据权利要求1所述的小型高精度气体配比器，其特征在于，所述气体配比器中采用无外置管路连接的集成式模块化方式布置。

7.根据权利要求1所述的小型高精度气体配比器，其特征在于，所述气体配比器中采用板式安装结构。