[发明专利]光学测位装置

摘要

本发明涉及光学测位装置。本发明涉及一种用于测量两个对象的相对位置的光学测位装置。在此，通过测量刻度（10）与光图案（M）的相互作用，在探测装置（21）上产生具有亮区域和暗区域的游标图案。测量刻度是相位光栅，所述相位光栅关于射入的光图案（M）被构造为使得所述游标图案的亮区域的强度通过几何辐射光学和波动光学的共同作用来最大化。

主权项

1.一种光学测位装置，用于测量两个能沿测量方向（X）相对彼此移动的对象的相对位置，所述光学测位装置具有测量刻度（10、100）和能相对于测量刻度（10、100）沿测量方向（X）移动的扫描装置（2），其中所述扫描装置（2）被构造用于使具有沿测量方向（X）交替的亮区域和暗区域的光图案（M）以光图案周期（PM）扭曲到所述测量刻度（10、100）上，其中所述测量刻度（10、100）具有测量刻度周期（PT），所述测量刻度周期与所述光图案周期（PM）稍微有偏差，使得通过所述光图案（M）与所述测量刻度（10、100）的共同作用来产生游标图案（V），所述游标图案具有亮区域和暗区域，所述亮区域和暗区域由探测装置（21）来扫描，其特征在于，所述测量刻度（10、100）是相位光栅，所述相位光栅的隔片间隙比与1:1有偏差，而且所述相位光栅的在隔片（S）与间隙（L）之间的相位偏移被构造为使得第零级衍射级被抑制，而且其中所述测位装置被构造为使得在射入的光图案（M）的亮区域的第零级衍射级被抑制的位置（P0）上，至少一个更高的衍射级被偏转并且在所述探测装置（21）上射到所述游标图案（V）的亮区域中的一个上。