[发明专利]一种二维扫描微镜在审
| 申请号： | 201711378390.6 | 申请日： | 2017-12-19 |
| 公开（公告）号： | CN107966810A | 公开（公告）日： | 2018-04-27 |
| 发明（设计）人： | 虞传庆;金重;王鹏;陈文礼;王宏臣;孙丰沛;董珊 | 申请（专利权）人： | 无锡英菲感知技术有限公司 |
| 主分类号： | G02B26/08 | 分类号： | G02B26/08 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司44202 | 代理人： | 郝传鑫,贾允 |
| 地址： | 214000 江苏省无锡市新吴区*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种二维扫描微镜，所述微镜包括镜面和外框架，所述镜面和外框架之间通过第一扭转轴相连，所述第一扭转轴定义第一方向；所述外框架具有沿着第二方向，向所述外框架两侧延伸的横梁，所述横梁末端具有沿着第二方向延伸第二扭转轴；所述第二扭转轴与固定锚点连接，通过所述固定锚点上的焊盘与外电路实现电连接；所述横梁的两侧均设置有动梳齿，静梳齿与动梳齿交错设置，并布置在横梁外侧的焊盘上，静梳齿与动梳齿构成第一梳齿对结构。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 二维 扫描 | ||
【主权项】：
一种二维扫描微镜，其特征在于，所述微镜包括：镜面(101,201)和外框架(103，203)，所述镜面(101,201)和外框架(103，203)之间通过第一扭转轴(102，202)相连，所述第一扭转轴(102，202)定义第一方向；所述外框架(103，203)具有沿着第二方向，向所述外框架两侧延伸的横梁(104,204)，所述横梁末端具有沿着第二方向延伸第二扭转轴(108,208)；所述第二扭转轴(108,208)与固定锚点(109,209)连接，通过所述固定锚点(109,209)上的焊盘与外电路实现电连接；所述横梁(104，204)的两侧均设置有动梳齿(106,206)，静梳齿(105,205)与动梳齿(106,206)交错设置，并布置在横梁外侧的焊盘(107,207)上，静梳齿(105,205)与动梳齿(106,206)构成第一梳齿对结构。
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