[发明专利]一种二维扫描微镜

权利要求书

1.一种二维扫描微镜，其特征在于，所述微镜包括：

镜面(101,201)和外框架(103，203)，所述镜面(101,201)和外框架(103，203)之间通过第一扭转轴(102，202)相连，所述第一扭转轴(102，202)定义第一方向；

所述外框架(103，203)具有沿着第二方向，向所述外框架两侧延伸的横梁(104,204)，所述横梁末端具有沿着第二方向延伸第二扭转轴(108,208)；

所述第二扭转轴(108,208)与固定锚点(109,209)连接，通过所述固定锚点(109,209)上的焊盘与外电路实现电连接；

所述横梁(104，204)的两侧均设置有动梳齿(106,206)，静梳齿(105,205)与动梳齿(106,206)交错设置，并布置在横梁外侧的焊盘(107,207)上，静梳齿(105,205)与动梳齿(106,206)构成第一梳齿对结构。

2.根据权利要求1所述的微镜，其特征在于，在所述第一梳齿对的所述静梳齿(105，205)与所述动梳齿(106,206)之间施加驱动电压，所述驱动电压包括低频成分和高频成分，所述驱动电压的低频成分驱动整个框架绕第二方向进行低频谐振或准静态振动，所述驱动电压的高频成分驱动外框架(103，203)和横梁(104，204)的整体绕第一方向进行高频谐振，进而耦合激发镜面(101，102)绕第一方向进行高频谐振。

3.根据权利要求1所述的微镜，其特征在于，所述外框架(303，403)外边沿与所述横梁(304,404)所在边垂直的两条边上设置有第二梳齿对，所述第二梳齿对与所述第一梳齿对之间保持电隔离。

4.根据权利要求1所述的微镜，其特征在于，通过第一深刻蚀槽(507X)将所述横梁区静梳齿的焊盘隔离为第一横梁子焊盘区(5071)和第二横梁子焊盘区(5072)；通过第二深刻蚀槽(512X)将所述框架处的焊盘区隔离为第一框架子焊盘区(5121)、第二框架子焊盘区(5122)和第三框架子焊盘区(5123)。

5.根据权利要求1所述的微镜，其特征在于，所述第一梳齿对为平面梳齿对或垂直梳齿对；所述第二梳齿对为平面梳齿对或垂直梳齿对。

6.一种二维扫描微镜，其特征在于，所述微镜包括：

镜面和外框架，所述镜面和外框架之间通过第一扭转轴相连，所述第一扭转轴定义第一方向；

所述外框架具有沿着第二方向，向所述外框架两侧延伸的横梁，所述横梁末端具有沿着第二方向延伸第二扭转轴；

所述第二扭转轴与固定锚点连接，通过所述固定锚点上的焊盘与外电路实现电连接；

所述横梁的一侧均设置有单侧动梳齿，与所述横梁对应的横梁区焊盘上设置有与所述动梳齿交错设置的单侧静梳齿，所述单侧静梳齿与所述单侧动梳齿构成第一梳齿对结构。

7.根据权利要求6所述的微镜，其特征在于，在所述第一梳齿对的所述单侧静梳齿与所述单侧动梳齿之间施加驱动电压，所述驱动电压包括低频成分和高频成分，所述驱动电压的低频成分驱动整个框架绕第二方向进行低频谐振或准静态振动，所述驱动电压的高频成分驱动外框架和横梁的整体绕第一方向进行高频谐振，进而耦合激发镜面绕第一方向进行高频谐振。

8.根据权利要求6所述的微镜，其特征在于，所述外框架外边沿与所述横梁所在边垂直的两条边上设置有第二梳齿对，所述第二梳齿对与所述第一梳齿对之间保持电隔离；

或者，所述外框架外边沿与所述横梁所在边垂直的两条边上设置有第二梳齿对，所述第二梳齿对与所述第一梳齿对之间保持电隔离；通过第一深刻蚀槽将所述横梁区单侧静梳齿的焊盘隔离为第一横梁子焊盘区和第二横梁子焊盘区；通过第二深刻蚀槽将所述框架处的焊盘区隔离为第一框架子焊盘区、第二框架子焊盘区和第三框架子焊盘区。

9.根据权利要求6所述的微镜，其特征在于，所述横梁区的所述单侧静梳齿的方向相同；

或者，所述横梁区的所述单侧静梳齿的方向相反。

10.根据权利要求6所述的微镜，其特征在于，所述第一梳齿对为平面梳齿对或垂直梳齿对；所述第二梳齿对为平面梳齿对或垂直梳齿对。