[发明专利]用于MEMS微结构动态特性测试的三轴式底座激励装置有效
| 申请号： | 201711355485.6 | 申请日： | 2017-12-16 |
| 公开（公告）号： | CN108217590B | 公开（公告）日： | 2019-11-22 |
| 发明（设计）人： | 佘东生;王巍;尹作友;张博;王春杰;周鑫 | 申请（专利权）人： | 渤海大学 |
| 主分类号： | G01M7/02 | 分类号： | G01M7/02 |
| 代理公司： | 21225 锦州辽西专利事务所(普通合伙) | 代理人： | 张旭存<国际申请>=<国际公布>=<进入 |
| 地址： | 121000 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于MEMS微结构动态特性测试的三轴式底座激励装置，包括套筒、叠堆压电陶瓷、压力传感器、上、下联接块、钢球和MEMS微结构；在套筒内设有支撑板及丝母与下联接块连接的电动丝杠传动机构；在上、下联接块上分别设有夹持钢球的球面凹槽和锥形凹槽；叠堆压电陶瓷夹持在压力传感器与弹性支撑件之间；在上联接块上均布连接有球头柱塞，球头柱塞外端顶入套筒内壁的矩形凹槽内。该装置能够更加灵活的对叠堆压电陶瓷施加不同大小的预紧力，使所获得的预紧力测量值更加准确，可使补偿叠堆压电陶瓷两工作表面平行度误差的调节过程变得更加顺畅和平滑，减小了叠堆压电陶瓷各层之间的剪切力，便于测试MEMS微结构的动态特性参数。 | ||
| 搜索关键词： | 压电陶瓷 联接块 微结构 叠堆 动态特性测试 压力传感器 激励装置 三轴式 钢球 夹持 套筒 底座 动态特性参数 弹性支撑件 平行度误差 预紧力测量 电动丝杠 工作表面 矩形凹槽 球面凹槽 球头柱塞 套筒内壁 锥形凹槽 剪切力 灵活的 球头柱 预紧力 支撑板 平滑 对叠 减小 均布 丝母 施加 测试 | ||
【主权项】：
1.一种用于MEMS微结构动态特性测试的三轴式底座激励装置，包括套筒，在套筒内设有叠堆压电陶瓷、压力传感器以及由上联接块、钢球和下联接块构成的可动底座，在套筒上面设有弹性支撑件和MEMS微结构，其特征是：/n在套筒上面设有环形顶板，所述MEMS微结构通过弹性支撑件安装在环形顶板上；/n在套筒内下部设有支撑板，在支撑板中心沿竖直方向安装有电动丝杠传动机构，电动丝杠传动机构的丝母与下联接块连接，用于带动下联接块上下移动；/n在上联接块和下联接块的相对面上分别设有球面凹槽和锥形凹槽，所述钢球的半径小于球面凹槽的曲率半径并夹持在球面凹槽和锥形凹槽之间，通过钢球使上、下联接块之间形成一个调整间隙；所述压力传感器镶装在上联接块顶面的中心孔内，叠堆压电陶瓷夹持在压力传感器与弹性支撑件之间；/n在上联接块外缘圆周均布连接有球头柱塞，球头柱塞外端的钢珠分别顶入到沿圆周方向均布在套筒内壁的矩形凹槽内，用于辅助可动底座补偿叠堆压电陶瓷两工作表面平行度误差的调节；/n在套筒内沿圆周方向均布设有导向轴，导向轴通过间隙配合穿过设置在下联接块下端的法兰盘上均布的导向孔，用于保证下联接块上下移动时的水平度。/n
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