[发明专利]控制开关模式离子能量分布系统的方法

摘要

本发明涉及控制开关模式离子能量分布系统的方法。具体地，公开了用于调节等离子体室内的离子能量并且将衬底夹紧到衬底支撑部的系统、方法和设备。示范性方法包括：在等离子体室内放置衬底；在所述等离子体室内形成等离子体；对所述衬底可控地开关电能，以便向所述衬底施加周期电压函数；以及在所述周期电压函数的多个周期期间，响应于所述衬底的表面的定义的离子能量分布来调制所述周期电压函数，以便在时间平均的基础上实现所述定义的离子能量分布。

主权项

一种用于基于等离子体的处理的装置，包括：可控DC电压源，所述可控DC电压源用于提供大小由离子能量控制设置确定的DC输出电压；输出端，所述输出端被配置为耦合到衬底保持部；第一开关部件，所述第一开关部件设置在所述DC电压源和所述输出端之间；第二开关部件，所述第二开关部件耦合在接地连接和所述输出端之间；控制器，所述控制器电耦合到所述第一开关部件和所述第二开关部件中的每一个开关部件，所述控制器被配置为分别通过第一驱动控制信号线和第二驱动控制信号线中的对应的一个驱动控制信号线向所述第一开关部件和所述第二开关部件提供第一驱动控制信号和第二驱动控制信号，并且控制所述驱动控制信号的定时，从而闭合所述第一开关部件以便将所述DC输出电压耦合到所述输出端，打开所述第一开关部件以便将所述DC输出电压与所述输出端解耦，在所述第一开关部件打开的同时闭合所述第二开关部件以便将地耦合到所述输出端，以及打开所述第一开关和所述第二开关两者以便从所述输出端移除所述DC输出电压和地；以及DC电流源，所述DC电流源耦合到所述输出端以便至少在所述第一开关和所述第二开关打开的同时提供离子电流补偿。