[发明专利]气体传感器和其制造方法在审
申请号: | 201711318489.7 | 申请日: | 2017-12-12 |
公开(公告)号: | CN108267383A | 公开(公告)日: | 2018-07-10 |
发明(设计)人: | 柳義炫;P·特雷福纳斯三世;B-H·李;P·D·休斯塔德 | 申请(专利权)人: | 罗门哈斯电子材料有限责任公司;罗门哈斯电子材料韩国有限公司;陶氏环球技术有限责任公司 |
主分类号: | G01N5/02 | 分类号: | G01N5/02 |
代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人: | 陈哲锋;胡嘉倩 |
地址: | 美国马*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | 本文中公开一种气体传感器,包含压电衬底;以及安置于所述衬底上的第一聚合层;其中所述第一聚合层具有接触衬底的第一表面和表面积比所述第一表面更高的第二表面,其中所述第一聚合层包含有效吸附大气中存在的分子的重复单元。 | ||
搜索关键词: | 聚合层 气体传感器 第一表面 衬底 表面积比 第二表面 压电衬底 吸附 安置 制造 | ||
【主权项】:
1.一种气体传感器,包含:压电衬底;以及安置于所述衬底上的第一聚合层;其中所述第一聚合层具有接触衬底的第一表面和表面积比所述第一表面更高的第二表面。其中所述第一聚合层包含有效吸附大气中存在的分子的重复单元。
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