[发明专利]一种超纯氢气纯化方法在审
| 申请号： | 201711317285.1 | 申请日： | 2017-12-12 |
| 公开（公告）号： | CN109911851A | 公开（公告）日： | 2019-06-21 |
| 发明（设计）人： | 李慧;徐恒泳;唐春华 | 申请（专利权）人： | 中国科学院大连化学物理研究所 |
| 主分类号： | C01B3/58 | 分类号： | C01B3/58;C01B3/50 |
| 代理公司： | 沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002 | 代理人： | 马驰 |
| 地址： | 116023 辽宁省*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种超纯氢气纯化工艺和技术。采用催化氧化加吸附的工艺路线，能用于脱除氢气中的CxHy(x＝1‑30),O2,CO2和H2O等ppm级杂质，将这些杂质浓度均降到1ppb以下，满足半导体及LED生产等电子行业对超纯氢(>8‑9N)的需求。该工艺操作简单，吸附材料可反复再生，使用寿命长，另外可以采用工业副产氢等廉价氢源，跟电解水相比大大降低成本，适合用于规模化工业生产。 | ||
| 搜索关键词： | 超纯氢气 催化氧化 电子行业 工艺操作 工艺路线 使用寿命 吸附材料 氢气 超纯氢 电解水 副产氢 规模化 氢源 脱除 吸附 半导体 再生 | ||
【主权项】：
1.一种超纯氢气纯化方法，其特征在于：采用先催化氧化然后吸附的组合过程对氢气进行处理，获得超纯氢气；催化氧化为加热催化过程，该工艺中碳氢化合物CxHy(x＝1‑30，y＝4‑62，如CH4)被转化为CO2和H2O；吸附剂为复合材料，能同时除去O2、CO2和H2O，且吸附过程在常温下进行。
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