[发明专利]高精度光学元件的表面疵病检测装置及检测方法在审
| 申请号： | 201711315385.0 | 申请日： | 2017-12-12 |
| 公开（公告）号： | CN108152299A | 公开（公告）日： | 2018-06-12 |
| 发明（设计）人： | 刘江;钟兴;李艳杰;孟瑶;苏志强;马驰 | 申请（专利权）人： | 长光卫星技术有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/95 | 分类号： | G01N21/95 |
| 代理公司： | 长春众邦菁华知识产权代理有限公司 22214 | 代理人： | 张伟 |
| 地址： | 130000 吉林*** | 国省代码： | 吉林;22 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种高精度光学元件的表面疵病检测装置及检测方法，属于光学检测技术领域，其中检测装置包括多轴机械调整模块、波前编码显微成像模块、同轴光源照明模块和计算机，所述多轴机械调整模块包括三轴电动位移台、电动转台和电动角位台，所述波前编码显微成像模块包括显微物镜、波前编码板、转接镜筒和CCD相机。本发明所提出的高精度光学元件的表面疵病检测装置及方法应用波前编码显微成像模块实现大景深的成像效果，有效地延拓了一般显微成像系统的景深，克服了由机械调整误差和球面及非球面光学元件面形造成的离焦影响，能够降低对机械精度的需求和光学分辨率的需求，从而降低表面疵病检测装置的成本，提高检测装置及检测方法的检测效率。 | ||
| 搜索关键词： | 表面疵病检测 波前编码 高精度光学元件 显微成像 检测 调整模块 多轴机械 检测装置 非球面光学元件 光学检测技术 显微成像系统 球面 电动位移台 光学分辨率 成像效果 电动转台 机械调整 模块实现 同轴光源 显微物镜 照明模块 大景深 电动角 有效地 转接镜 景深 离焦 面形 三轴 延拓 计算机 | ||
【主权项】：
一种高精度光学元件的表面疵病检测装置，其特征在于，包括多轴机械调整模块、波前编码显微成像模块、同轴光源照明模块(100)和计算机(200)，所述多轴机械调整模块包括三轴电动位移台(310)、电动转台(320)和电动角位台(330)，所述波前编码显微成像模块包括显微物镜(410)、波前编码板(420)、转接镜筒(430)和CCD相机(440)；所述电动转台(320)安装在所述三轴电动位移台(310)的底座(500)上；所述显微物镜(410)、所述波前编码板(420)、所述转接镜筒(430)和所述CCD相机(440)依次连接，且所述转接镜筒(420)与所述电动角位台(330)固定连接；所述电动角位台(330)设置在所述三轴电动位移台上(310)，且所述电动角位台(330)的法线方向与所述电动转台(320)的法线方向相垂直；所述三轴电动位移台(310)、所述电动转台(320)和所述电动角位台(330)均与所述计算机(200)电连接；所述同轴光源照明模块(100)通过光纤与所述显微物镜(410)连接；所述CCD相机(440)的输出端口与所述计算机(200)的输入端口连接；所述计算机(200)根据预设运动参数控制所述三轴电动位移台(310)、所述电动转台(320)和所述电动角位台(330)运动，且所述CCD相机(440)对放置在所述电动转台(320)上的待测光学元件进行实时表面成像，并将所述待测光学元件的表面成像数据发送至所述计算机(200)，所述计算机(200)根据图像识别方法对所述待测光学元件的表面成像进行疵病识别处理，并存储带有疵病的所述表面成像。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于长光卫星技术有限公司，未经长光卫星技术有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201711315385.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种高速自动光学检测走带系统及其使用方法
- 下一篇：一种管道内壁疵病检测装置
