[发明专利]一种新式结构的单晶炉用加热器在审
| 申请号： | 201711312351.6 | 申请日： | 2017-12-11 |
| 公开（公告）号： | CN109898132A | 公开（公告）日： | 2019-06-18 |
| 发明（设计）人： | 邓德辉;王学锋;李超 | 申请（专利权）人： | 有研半导体材料有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00;C30B29/06 |
| 代理公司： | 北京北新智诚知识产权代理有限公司 11100 | 代理人： | 刘秀青 |
| 地址： | 101300 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种新式结构的单晶炉用加热器，该加热器由环形的石墨板构成，石墨板上均匀开槽；该加热器具有在轴向上宽下窄的结构，该加热器的上半部分与下半部分之间为弧形过渡，其中，从加热器顶部至加热器高度三分之一的区域为加热器的上半部分，从加热器底部至加热器高度三分之二的区域为加热器的下半部分。本发明的加热器的外形结构类似于酒杯，高温区在加热器底部，解决了多晶硅熔化时粘连的问题。采用该加热器，在拉晶过程中能产生明显的温度梯度，熔体热对流明显，可以使杂质浓度保持均匀。 | ||
| 搜索关键词： | 加热器 单晶炉 石墨板 熔化 弧形过渡 浓度保持 外形结构 温度梯度 多晶硅 高温区 热对流 粘连 酒杯 开槽 拉晶 熔体 | ||
【主权项】：
1.一种单晶炉用加热器，该加热器由环形的石墨板构成，石墨板上均匀开槽，其特征在于，该加热器具有在轴向上宽下窄的结构，该加热器的上半部分与下半部分之间为弧形过渡。
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