[发明专利]基于软光刻的复合微纳结构抑菌薄膜制备系统及制备方法在审
| 申请号： | 201711303874.4 | 申请日： | 2017-12-11 |
| 公开（公告）号： | CN108051985A | 公开（公告）日： | 2018-05-18 |
| 发明（设计）人： | 张红鑫;徐佳;王泰升;许文斌;蔺春波;王鹤;刘建卓;许家林 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 深圳市科进知识产权代理事务所(普通合伙) 44316 | 代理人： | 赵勍毅 |
| 地址： | 130033 吉林省长春*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种基于软光刻的复合微纳结构抑菌薄膜制备系统及其制备方法。所述基于软光刻的复合微纳结构抑菌薄膜制备系统，包括：计算机、激光光源、激光光束整形器、激光扩束器、光刻图形生成器、光刻投影镜头、样品平台及平台运动控制器；光刻图形通过计算机输入到所述光刻图形生成器中，所述激光光源发出的光束依次通过激光光束整形器和光束扩束器后照射到所述图形生成器表面，所述光束经所述图形生成器反射后经过所述光刻投影镜头将所述光刻图形投影到待加工样品上，在待加工样品上形成具有抑菌作用的周期性表面结构；所述样品台用于放置待加工样品，所述平台运动控制器用于控制所述样品平台的扫描曝光运动。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 光刻 复合 结构 薄膜 制备 系统 方法 | ||
【主权项】：
1.一种基于软光刻的复合微纳结构抑菌薄膜制备系统，包括：计算机、激光光源、激光光束整形器、激光扩束器、光刻图形生成器、光刻投影镜头、样品平台及平台运动控制器；光刻图形通过计算机输入到所述光刻图形生成器中，所述激光光源发出的光束依次通过激光光束整形器和光束扩束器后照射到所述图形生成器表面，所述光束经所述图形生成器反射后经过所述光刻投影镜头将所述光刻图形投影到待加工样品上，在待加工样品上形成具有抑菌作用的周期性表面结构；所述样品台用于放置待加工样品，所述平台运动控制器用于控制所述样品平台的扫描曝光运动。
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