[发明专利]基于双光栅剪切干涉的一体化激光材料热效应测量装置

摘要

本发明公开了一种基于双光栅剪切干涉的一体化激光材料热效应测量装置，光纤激光器出射标准球面波，经准直物镜产生标准平面波前，被测激光材料放置于两平面反射镜之间，标准平面波前依次经两平面反射镜反射，方向发生180°改变，标准平面波前经过被测激光材料后携带被测激光材料的热效应信息，由分光镜分为两束，一束为热效应焦距参数测量光束，进入热效应焦距参数测量模块，进行热效应焦距参数测量，另一束为波像差参数测量光束，进入波像差参数测量模块，进行波像差参数测量。本发明基于双光栅剪切干涉技术，具有光轴辅助调节功能，系统结构简单、操作方便、测量精度高，可实现等效焦距和等效波像差的同步测量。

主权项

1.一种基于双光栅剪切干涉的一体化激光材料热效应测量装置，其特征在于，包括：光纤激光器(1)、准直物镜(2)、第一平面反射镜(3)、第二平面反射镜(5)、第一分光镜(6)、热效应焦距参数测量模块和波像差参数测量模块；光纤激光器(1)出射标准球面波，经准直物镜(2)后产生标准平面波前，被测激光材料(4)放置于第一平面反射镜(3)和第二平面反射镜(5)之间，标准平面波前依次经第一平面反射镜(3)和第二平面反射镜(5)反射，方向发生180°改变，标准平面波前经过被测激光材料(4)后携带被测激光材料(4)的热效应信息，由第一分光镜(6)分为两束，一束为热效应焦距参数测量光束，进入热效应焦距参数测量模块，进行热效应焦距参数测量，另一束为波像差参数测量光束，进入波像差参数测量模块，进行波像差参数测量。