[发明专利]法珀传感器及其制造方法有效
| 申请号： | 201711269044.4 | 申请日： | 2017-12-05 |
| 公开（公告）号： | CN109870255B | 公开（公告）日： | 2023-09-12 |
| 发明（设计）人： | 张立喆;林春 | 申请（专利权）人： | 北京佰为深科技发展有限公司 |
| 主分类号： | G01L1/24 | 分类号： | G01L1/24 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 陈钘;陈茜 |
| 地址： | 100085 北京市海淀区*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及法珀传感器及其制造方法。法珀传感器包括：基部；腔体，形成在所述基部和压力敏感膜片之间，且由基部和压力敏感膜片封闭；所述压力敏感膜片，固定到所述基部，其中，所述压力敏感膜片具有一个或多个局部区域，每一个局部区域具有掺杂到压力敏感膜片的基础材料中以产生应力的掺杂物质，任一局部区域不贯穿压力敏感膜片的整个厚度，所述压力敏感膜片在所述应力的作用下呈现波状构造；光纤，用于传导光信号，所述光纤的一个端部固定到基部的光纤安装部，所述光纤安装部位于基部的、与所述腔体相对的端部处。 | ||
| 搜索关键词： | 传感器 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种法珀传感器，包括：基部；腔体，形成在所述基部和压力敏感膜片之间，且由基部和压力敏感膜片封闭；所述压力敏感膜片，固定到所述基部，其中，所述压力敏感膜片具有一个或多个局部区域，每一个局部区域具有掺杂到压力敏感膜片的基础材料中以产生应力的掺杂物质，任一局部区域不贯穿压力敏感膜片的整个厚度，所述压力敏感膜片在所述应力的作用下呈现波状构造；光纤，用于传导光信号，所述光纤的一个端部固定到基部的光纤安装部，所述光纤安装部位于基部的、与所述腔体相对的端部处。
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