[发明专利]一种不使用光学透镜的扫描电镜演示方法与装置有效
| 申请号： | 201711259315.8 | 申请日： | 2017-12-04 |
| 公开（公告）号： | CN107833513B | 公开（公告）日： | 2020-05-29 |
| 发明（设计）人： | 高尚 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨工业大学深圳研究生院 |
| 主分类号： | G09B23/22 | 分类号： | G09B23/22 |
| 代理公司： | 深圳市添源知识产权代理事务所(普通合伙) 44451 | 代理人： | 罗志伟 |
| 地址： | 518000 广东省深*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种不使用光学透镜的扫描电镜演示方法，将材料预制成特定形状的光路模型，与样品模型搭配使用，借助电磁铁对软磁材料的吸引的机制，来实现模拟扫描电镜中电子束旋转、聚焦、偏转、与样品相互作用及信号采集全过程的目的，避免了使用光学透镜模拟带来的不利效果。本发明还提供了一种不使用光学透镜的扫描电镜演示装置。所述装置置于透明的镜筒和样品仓内，演示部件除了便于被观察之外，还非常便于布置和改装。本发明的有益效果是：可以演示扫描电镜成像的全过程，即演示从电子束产生到信号接收的全过程及其蕴含的深层次原理；整个演示过程直观、形象，使得原理非常容易理解，装置还具有低成本、易改装等特点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 使用 光学 透镜 扫描电镜 演示 方法 装置 | ||
【主权项】：
一种不使用光学透镜的扫描电镜演示方法，其特征在于：不使用光学透镜，而是将光路预制成特定的形状，构成光路模型，与样品模型搭配使用，并且基于电磁铁对软磁材料的吸引来演示扫描过程和信号接收的过程。
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