[发明专利]一种原子力显微镜中激励探针振动的方法在审
| 申请号： | 201711249013.2 | 申请日： | 2017-12-01 |
| 公开（公告）号： | CN109870593A | 公开（公告）日： | 2019-06-11 |
| 发明（设计）人： | 魏艳萍;卢焕明;陈国新;姚聪迪 | 申请（专利权）人： | 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 |
| 主分类号： | G01Q60/38 | 分类号： | G01Q60/38 |
| 代理公司： | 北京鸿元知识产权代理有限公司 11327 | 代理人： | 陈英俊 |
| 地址： | 315201 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提供一种原子力显微镜中激励探针振动的方法，在所述探针下方设置压电换能器，该压电换能器在信号源作用下产生竖直方向的机械振动，探针在该机械振动波激励下发生振动。与现有的采用探针驱动器激励悬臂振动，从而带动探针振动的方法相比，本发明中探针针尖更容易挣脱样品表面的粘附力和毛细管力的作用进行稳定的振动，有利于稳定地扫描成像，获得高分辨率的扫描图像，并且降低了对悬臂的高性能要求。 | ||
| 搜索关键词： | 探针 原子力显微镜 压电换能器 激励探针 高性能要求 机械振动波 探针驱动器 高分辨率 机械振动 毛细管力 扫描成像 扫描图像 悬臂振动 样品表面 信号源 中探针 针尖 竖直 悬臂 粘附 | ||
【主权项】：
1.一种原子力显微镜中激励探针振动的方法，其特征是：在所述探针下方设置压电换能器，该压电换能器在信号源作用下产生竖直方向的机械振动，探针在该机械振动波激励下发生振动。
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