[发明专利]基于同步共振的高分辨率差压式流量传感器及检测方法

摘要

本发明提供一种基于同步共振的高分辨率差压式流量传感器及检测方法，属于差压式流量传感器。底座内流道一端与引压流道密封相连，另一端与支撑部压缩腔密封连接，分隔膜处于底座与支撑部中间，支撑部与两对同步共振悬臂梁连接，支撑部内流道一端与压缩腔相连，另一端与检测梁内流道连接，且检测梁内流道与敏感腔相连，检测梁基底上表面设置有压电激振片，拾振梁基底上表面设置有压电拾振片，两对同步共振悬臂梁组成差动式结构。本发明结构新颖，与节流装置配合使用，将水压的变化转化成密闭气体密度的变化，利用同步共振悬臂梁结构实现对流体压差的高分辨率测量，从而求得被测流体的流量。

主权项

一种基于同步共振的高分辨率差压式流量传感器，其特征在于：分隔膜处于底座与支撑部中间，底座内流道与支撑部压缩腔位于分隔膜两侧，第一对同步共振悬臂梁和第二对同步共振悬臂梁的一端分别与支撑部连接、另一端分别与敏感腔连接，第一对同步共振悬臂梁和第二对同步共振悬臂梁的结构相同、且第一对同步共振悬臂梁与第二对同步共振悬臂梁形成差动结构，其中第一对同步共振悬臂梁结构是：检测梁通过耦合梁与拾振梁相连，检测梁内流道一端与支撑部内流道连接、另一端与敏感腔连接，该支撑部内流道还与支撑部压缩腔连接，支撑部压缩腔、支撑部内流道、检测梁内流道和敏感腔中充满气体。