[发明专利]偏振态测量装置和测量方法在审
| 申请号： | 201711241317.4 | 申请日： | 2017-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN109855737A | 公开（公告）日： | 2019-06-07 |
| 发明（设计）人： | 翟思洪;徐建旭 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 |
| 主分类号： | G01J4/00 | 分类号： | G01J4/00 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种偏振态测量装置，包括：照明单元和用于检测所述照明单元光路的偏振态的偏振态检测单元，所述偏振态检测单元包括相位延迟组件、检测单元和校准单元，所述校准单元用于校准所述相位延迟组件的相位延迟误差，所述检测单元在校准后检测不同相位延迟状态下所述光路的偏振态。本发明提出了一种偏振态测量装置和测量方法，该测量装置自带校准单元，在测量前进行自校准，可以减少光学元件的运动，提高测量效率和精度。 | ||
| 搜索关键词： | 偏振态测量装置 校准单元 相位延迟组件 偏振态检测 检测 照明单元 测量 偏振态 光路 相位延迟误差 测量效率 测量装置 光学元件 相位延迟 校准 自校准 自带 | ||
【主权项】：
1.一种偏振态测量装置，包括照明单元和用于检测所述照明单元光路的偏振态的偏振态检测单元，其特征在于：所述偏振态检测单元包括相位延迟组件、检测单元和校准单元，所述校准单元用于校准所述相位延迟组件的相位延迟误差，所述检测单元在校准后检测不同相位延迟状态下所述光路的偏振态。
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