[发明专利]偏振态测量装置和测量方法

权利要求书

1.一种偏振态测量装置，包括照明单元和用于检测所述照明单元光路的偏振态的偏振态检测单元，其特征在于：所述偏振态检测单元包括相位延迟组件、检测单元和校准单元，所述校准单元用于校准所述相位延迟组件的相位延迟误差，所述检测单元在校准后检测不同相位延迟状态下所述光路的偏振态。

2.如权利要求1所述的偏振态测量装置，其特征在于，所述校准单元包括校准偏光组件，所述光路入射光经过所述校准偏光组件后输出偏振光，所述检测单元探测经所述相位延迟组件处理后的所述偏振光的光强。

3.如权利要求1所述的偏振态测量装置，其特征在于，所述相位延迟组件包括电光晶体和晶体控制单元，所述晶体控制单元用于在所述电光晶体上加载电压以产生相位延迟。

4.如权利要求1所述的偏振态测量装置，其特征在于，所述相位延迟组件包括四分之一波片和旋转台，所述旋转台用于带动所述四分之一波片旋转。

5.如权利要求1所述的偏振态测量装置，其特征在于，所述检测单元包括偏振分光镜和探测器，所述光路经所述相位延迟组件处理后入射至所述偏振分光镜，所述探测器探测所述偏振分光镜分出的偏振光的光强。

6.如权利要求5所述的偏振态测量装置，其特征在于，所述探测器为两个，分别探测偏振光的P分量和S分量的光强。

7.如权利要求1所述的偏振态测量装置，其特征在于，还包括光路引出单元，所述光路引出单元用于引出所述照明单元的光路至所述偏振态检测单元。

8.如权利要求7所述的偏振态测量装置，其特征在于，所述光路引出单元为反射镜或光纤。

9.如权利要求1所述的偏振态测量装置，其特征在于，还包括准直单元，所述照明单元的光路经所述准直单元入射至所述偏振态检测单元。

10.一种偏振态测量方法，其特征在于，包括：

S1：将照明单元的光路引入包括校准单元、相位延迟组件和检测单元的偏振态检测单元；

S2：通过所述校准单元校准相位延迟组件的相位延迟误差；

S3：移除所述校准单元；

S4：通过所述检测单元检测不同相位延迟状态下所述光路的偏振态。

11.如权利要求10所述的偏振态测量方法，其特征在于，步骤S2包括：

S2.1：将照明单元的光路引入校准偏光组件，通过校准偏光组件产生偏振光；

S2.2：通过相位延迟组件接收所述偏振光；

S2.3：通过检测单元探测经所述相位延迟组件处理后的所述偏振光的光强；

S2.4：根据不同相位延迟下探测到的光强，校准所述相位延迟组件的延迟误差。

12.如权利要求10所述的偏振态测量方法，其特征在于，在步骤S1中，设置包括电光晶体和晶体控制单元的相位延迟组件，通过所述晶体控制单元在所述电光晶体上加载电压以产生相位延迟。

13.如权利要求10所述的偏振态测量方法，其特征在于，在步骤S1中，设置包括四分之一波片和旋转台的相位延迟组件，通过所述旋转台带动所述四分之一波片旋转以产生相位延迟。

14.如权利要求10所述的偏振态测量方法，其特征在于，在步骤S1中，设置包括偏振分光镜和探测器的检测单元，经所述相位延迟组件处理后的光束入射至所述偏振分光镜，通过所述探测器探测所述偏振分光镜分出的偏振光的光强。

15.如权利要求14所述的偏振态测量方法，其特征在于，设置两个所述探测器，分别探测偏振光的P分量和S分量的光强。