[发明专利]信号处理装置及处理方法、对准系统及对准方法和光刻机有效
| 申请号： | 201711241310.2 | 申请日： | 2017-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN109856929B | 公开（公告）日： | 2020-06-16 |
| 发明（设计）人： | 顾俊 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F9/00 | 分类号： | G03F9/00 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种带相位补偿的信号处理装置，包括：信号采集模块，用于采集实际的工作信号；信号模拟模块，用于模拟任意频率、幅值的工作信号，模拟得到的信号定义为检测信号；信号处理模块，可选性地与信号采集模块、信号模拟模块连接，用于对接收的信号进行调理和采样；相位差检测模块，分别与信号模拟模块和信号处理模块连接，并检测经信号处理模块处理前后的检测信号之间的相位差；输出控制模块，与相位差检测模块和信号处理模块连接，并形成相位差补偿表，及根据相位补偿表对信号处理模块处理后的工作信号相位补偿。本发明提供了一种信号处理装置及处理方法、对准系统及对准方法和光刻机，消除了信号处理中不同级次光混合后产生的相位差。 | ||
| 搜索关键词： | 信号 处理 装置 方法 对准 系统 光刻 | ||
【主权项】：
1.一种带相位补偿的信号处理装置，其特征在于，包括：信号采集模块，配置为用于采集实际的工作信号；信号模拟模块，配置为用于模拟任意频率、幅值的所述工作信号，模拟得到的信号定义为检测信号；信号处理模块，可选性地与所述信号采集模块、所述信号模拟模块连接，用于对接收的信号进行调理和采样；相位差检测模块，分别与所述信号模拟模块和信号处理模块连接，并配置为检测经所述信号处理模块处理前后的所述检测信号之间的相位差；输出控制模块，与所述相位差检测模块和信号处理模块连接，并配置为形成包含有若干任意频率、幅值的所述检测信号对应的相位差信息的相位差补偿表，以及根据所述相位补偿表对所述信号处理模块处理后的实际的所述工作信号进行相位补偿。
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