[发明专利]信号处理装置及处理方法、对准系统及对准方法和光刻机

权利要求书

1.一种带相位补偿的信号处理装置，其特征在于，包括：

信号采集模块，配置为用于采集实际的工作信号；

信号模拟模块，配置为用于模拟任意频率、幅值的所述工作信号，模拟得到的信号定义为检测信号；

信号处理模块，可选性地与所述信号采集模块、所述信号模拟模块连接，用于对接收的信号进行调理和采样；

相位差检测模块，分别与所述信号模拟模块和信号处理模块连接，并配置为检测经所述信号处理模块处理前后的所述检测信号之间的相位差；

输出控制模块，与所述相位差检测模块和信号处理模块连接，并配置为形成包含有若干任意频率、幅值的所述检测信号对应的相位差信息的相位差补偿表，以及根据所述相位差补偿表对所述信号处理模块处理后的实际的所述工作信号进行相位补偿。

2.如权利要求1所述的信号处理装置，其特征在于，所述信号处理装置还包括第一开关，配置为用于控制信号处理模块与所述信号模拟模块之间、信号处理模块与信号采集模块之间的通断。

3.如权利要求2所述的信号处理装置，其特征在于，所述信号处理装置还包括第二开关，所述第二开关分别与所述信号处理模块、相位差检测模块和输出控制模块连接，配置为控制所述信号处理模块与输出控制模块之间、相位差检测模块与输出控制模块之间的通断。

4.如权利要求1所述的信号处理装置，其特征在于，所述信号模拟模块包括数字波形发生模块、滤波器和电压转电流单元，所述数字波形发生模块通过所述滤波器和电压转电流单元连接。

5.如权利要求4所述的信号处理装置，其特征在于，所述数字波形发生模块包括数字波形发生单元和数模转换单元，所述滤波器包括低通滤波器，所述数字波形发生单元通过所述数模转换单元与所述滤波器连接。

6.如权利要求1所述的信号处理装置，其特征在于，所述相位差检测模块包括归一化模块和相敏检测器，所述归一化模块配置为归一所述信号模拟模块提供的电压信号，所述相敏检测器与所述归一化模块连接，并配置为检测获得所述信号处理模块和所述归一化模块输出信号之间的相位差。

7.如权利要求6所述的信号处理装置，其特征在于，所述归一化模块包括峰值检测器和除法器，所述峰值检测器和除法器的输入端均与所述信号模拟模块连接，所述峰值检测器的输出端与所述除法器的输入端连接，所述除法器的输出端与所述相敏检测器连接。

8.如权利要求6所述的信号处理装置，其特征在于，所述相敏检测器包括乘法器和低通滤波器，所述乘法器分别与所述归一化模块和信号处理模块的输出端连接，所述乘法器的输出端通过所述低通滤波器与所述输出控制模块连接。

9.如权利要求3所述的信号处理装置，其特征在于，所述信号处理装置还包括第一模数转换器，所述第一模数转换器的输入端与所述第二开关连接，所述第一模数转换器的输出端和所述输出控制模块连接。

10.如权利要求1所述的信号处理装置，其特征在于，所述相位差检测模块包括方波信号转换单元、第二模数转换器、第三模数转换器和比较单元，所述方波信号转换单元将所述检测信号转换为具有相同频率、幅值的方波信号，所述第二模数转换器的输入端与信号处理模块的输出端连接，所述第三模数转换器的输入端与方波信号转换单元连接，所述比较单元分别与所述第二模数转换器和第三模数转换器的输出端连接，并配置为比较所述第二模数转换器和第三模数转换器输出信号之间的相位差以获取所述经所述信号处理模块处理前后的所述检测信号之间的相位差。

11.如权利要求1所述的信号处理装置，其特征在于，所述信号处理模块包括电流转电压单元、高通滤波器、增益调节单元和低通滤波器，所述电流转电压单元依次通过所述高通滤波器、增益调节单元和低通滤波器连接，所述电流转电压单元可选性地分别与所述信号采集模块和信号模拟模块连接，所述低通滤波器分别与所述输出控制模块和相位差检测模块连接。