[发明专利]抗蚀剂剥离液组合物在审
| 申请号： | 201711216194.9 | 申请日： | 2017-11-28 |
| 公开（公告）号： | CN108345189A | 公开（公告）日： | 2018-07-31 |
| 发明（设计）人： | 房淳洪;崔汉永;洪宪杓 | 申请（专利权）人： | 东友精细化工有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/42 | 分类号： | G03F7/42 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 金鲜英;宋海花 |
| 地址： | 韩国全*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： |
本发明提供一种抗蚀剂剥离液组合物，更详细而言，提供以包含下述化学式1的化合物为特征的抗蚀剂剥离液组合物。下述化学式1中，R1为被碳原子数1～3的烷氧基取代或非取代的烷基或羟基氨基，R2为甲基或乙基，n为1～2的整数。本发明的抗蚀剂剥离液组合物通过包含特定化学式所表示的烷氧基羟基胺化合物，从而具有使挥发量最小化且即使长时间使用也能够维持剥离速度的效果。[化学式1] |
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| 搜索关键词： | 抗蚀剂剥离液 烷基 甲基或乙基 烷氧基取代 烷氧基羟基 胺化合物 碳原子数 羟基氨基 非取代 挥发量 最小化 剥离 | ||
【主权项】：
1.一种抗蚀剂剥离液组合物，其特征在于，包含下述化学式1的化合物，化学式1![]()
所述化学式1中，R1为被碳原子数1～3的烷氧基取代或非取代的烷基或羟基氨基，R2为甲基或乙基，n为1～2的整数。
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