[发明专利]一种原位中间体探测质谱分析装置在审

专利信息
申请号: 201711213720.6 申请日: 2017-11-28
公开(公告)号: CN107958833A 公开(公告)日: 2018-04-24
发明(设计)人: 唐紫超;施再发;林水潮;陈应;刘方刚;杨静;王永天;翁波 申请(专利权)人: 厦门大学
主分类号: H01J49/40 分类号: H01J49/40
代理公司: 厦门南强之路专利事务所(普通合伙)35200 代理人: 马应森
地址: 361005 *** 国省代码: 福建;35
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摘要: 一种原位中间体探测质谱分析装置,涉及原位质谱分析。设有石英反应管、U型石英反应管、原位反应炉腔体、电加热炉、漏勺、光电离源、离子调制区、飞行时间质谱加速区、飞行时间质谱无场区、飞行时间质谱反射区、检测器和分子泵;石英反应管入口和出口穿过原位反应炉腔体与U型石英反应管相连,U型石英反应管嵌套在电加热炉中并在末端开有取样孔,取样孔正对着漏勺,离子调制区、漏勺和飞行时间质谱加速区三者处于同一轴线上,光电离源垂直安装于离子调制区上,离子调制区上设有3个圆形电极;从反应管经漏勺到离子调制区真空度依次增加,第2分子泵连接在原位反应炉腔体,第1分子泵位于离子调制区和飞行时间质谱分析器所在腔室。
搜索关键词: 一种 原位 中间体 探测 谱分析 装置
【主权项】:
一种原位中间体探测质谱分析装置,其特征在于设有石英反应管、U型石英反应管、原位反应炉腔体、电加热炉、漏勺、光电离源、离子调制区、飞行时间质谱加速区、飞行时间质谱无场区、飞行时间质谱反射区、检测器、第1分子泵和第2分子泵;所述石英反应管的入口和石英反应管的出口穿过原位反应炉腔体与U型石英反应管相连,U型石英反应管嵌套在电加热炉中,U型石英反应管在末端开有取样孔,取样孔正对着漏勺,离子调制区、漏勺和飞行时间质谱加速区三者处于同一轴线上,光电离源垂直安装于离子调制区上,离子调制区上设有3个圆形电极;从反应管经漏勺到离子调制区真空度依次增加,第2分子泵连接在原位反应炉腔体,第1分子泵位于离子调制区和飞行时间质谱分析器所在腔室。
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