[发明专利]图案描绘装置

摘要

基板处理装置以使得通过多个描绘单元的各描绘线在基板上描绘出的图案彼此伴随着基板向长度方向的移动而在基板的宽度方向上接合在一起的方式，沿基板的宽度方向配置有多个描绘单元。控制部预先存储有与通过多个描绘单元分别在基板上形成的描绘线的相互的位置关系有关的校准信息，并且基于该校准信息和从移动测量装置输出的移动信息来调整通过多个描绘单元各自的描绘光束在基板上的形成的图案的描绘位置。

主权项

一种图案描绘装置，基于电子器件用的图案的描绘数据，在长条的片状基板的表面上描绘出所述图案，其特征在于，具有：旋转筒，其绕规定的中心线旋转，并且具有在相对于所述中心线为一定半径的圆筒状的外周面的一部分形成的基准图案，通过所述外周面支承所述片状基板的长度方向的一部分；移动测量装置，其包括编码器读头，所述编码器读头读取标尺部并输出与所述片状基板的移动量或移动位置相应的移动信息，其中所述标尺部沿着相对于所述中心线为规定半径的周面设置并与所述旋转筒一起旋转；描绘单元，其沿着根据所述描绘数据而调制的光束在与所述中心线平行的方向扫描时的描绘线而在由所述旋转筒支承的所述片状基板上描绘出所述图案；检测探针，其在沿所述旋转筒的旋转方向与所述描绘线相比设置在上游侧的观察区域检测预先形成于所述片状基板的标记、或者所述旋转筒的所述基准图案；光电传感器，其检测在来自所述描绘单元的所述光束扫描所述旋转筒的外周面时产生的反射光的强度变化；以及控制部，其基于伴随所述旋转筒的旋转而所述基准图案分别被所述检测探针和所述光电传感器检测到时的所述移动测量装置得到的各移动信息，得到和所述描绘线与所述观察区域之间的相对位置关系有关的校准信息，之后基于所述校准信息和所述检测探针检测到所述片状基板的所述标记时所述移动测量装置得到的移动信息，来调整通过来自所述描绘单元的所述光束而形成的所述图案的描绘位置。