[发明专利]图案描绘装置

权利要求书

1.一种图案描绘装置，基于电子器件用的图案的描绘数据，在长条的片状基板的表面上描绘出所述图案，其特征在于，具有：

旋转筒，其绕规定的中心线旋转，并且具有在相对于所述中心线为一定半径的圆筒状的外周面的一部分形成的基准图案，通过所述外周面支承所述片状基板的长度方向的一部分；

移动测量装置，其包括编码器读头，所述编码器读头读取标尺部并输出与所述片状基板的移动量或移动位置相应的移动信息，其中所述标尺部沿着相对于所述中心线为规定半径的周面设置并与所述旋转筒一起旋转；

描绘装置，其在所述中心线延伸的方向上按奇数和偶数的顺序配置有多个描绘单元，其中所述描绘单元将根据所述描绘数据而进行了强度调制后的光束的点光投射到由所述旋转筒支承的所述片状基板上，并沿着在与所述中心线平行的方向用旋转多面镜扫描所述点光时的描绘线而描绘出所述图案，所述描绘装置将第奇数个描绘单元进行的所述点光的扫描方向和第偶数个描绘单元进行的所述点光的扫描方向设置为彼此相反；

对准显微镜，其在沿所述旋转筒的旋转方向与所述第奇数个描绘单元和所述第偶数个描绘单元各自的所述描绘线相比设置在上游侧的观察区域检测预先形成于所述片状基板的标记、或者所述旋转筒的所述基准图案；

光电传感器，其分别设于所述第奇数个描绘单元和所述第偶数个描绘单元，在来自所述描绘单元的所述光束的点光扫描所述旋转筒的外周面时在亮视野或暗视野接收从所述基准图案产生的反射光，并检测所述反射光的强度变化；以及

控制部，其基于伴随所述旋转筒的旋转而所述基准图案分别被所述对准显微镜和所述光电传感器检测到时的所述移动测量装置得到的各移动信息，得到和所述多个描绘单元各自的第奇数条所述描绘线和第偶数条所述描绘线各自与所述观察区域之间的相对位置关系有关的校准信息，之后基于所述校准信息和所述对准显微镜检测到所述片状基板的所述标记时所述移动测量装置得到的移动信息，来调整通过分别来自所述第奇数个描绘单元和所述第偶数个描绘单元的所述光束的点光而形成的所述图案的描绘位置。

2.如权利要求1所述的图案描绘装置，其特征在于，

所述移动测量装置的所述编码器读头包括：

第1编码器读头，该第1编码器读头在沿所述旋转筒的周向与所述第奇数个描绘单元的所述描绘线或者所述第偶数个描绘单元的所述描绘线相同的方位与所述标尺部相对地配置；和

第2编码器读头，该第2编码器读头在沿所述旋转筒的周向与所述观察区域相同的方位与所述标尺部相对地配置。

3.如权利要求1或2所述的图案描绘装置，其特征在于，

所述控制部执行的所述描绘位置的调整包含变更所述所述旋转筒的旋转速度，以变更所述片状基板的移动速度的控制。

4.如权利要求1或2所述的图案描绘装置，其特征在于，

所述控制部执行的所述描绘位置的调整包括以下控制：对基于所述旋转筒的旋转而形成的所述片状基板的每单位时间的周向上的移动距离与该移动距离内含有的所述描绘线的条数之间的关系进行变更。

5.如权利要求1或2所述的图案描绘装置，其特征在于，

所述控制部执行的所述描绘位置的调整包括对通过所述光束的扫描而形成的所述描绘线的长度进行变更。

6.如权利要求1或2所述的图案描绘装置，其特征在于，

还具有脉冲光源，所述脉冲光源作为分别从多个所述描绘单元投射的所述光束而发出与系统时钟同步的紫外域的波长的脉冲光，

所述控制部执行的所述描绘位置的调整包括在所述光束沿着所述描绘线进行扫描的期间部分地改变所述系统时钟的周期的处理。