[发明专利]一种信号发生器辅助射频电源调谐方法有效
| 申请号： | 201711203390.2 | 申请日： | 2017-11-27 |
| 公开（公告）号： | CN107706083B | 公开（公告）日： | 2019-10-25 |
| 发明（设计）人： | 应刚;姜永泽;周立 | 申请（专利权）人： | 江苏天瑞仪器股份有限公司 |
| 主分类号： | H01J49/42 | 分类号： | H01J49/42;H02M1/00;G01N27/62 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215347 江苏省苏州市昆*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种信号发生器辅助射频电源调谐方法，包括：信号处理模块、内部时钟模块、功率放大模块、隔离变压器模块、四极杆总成、反馈控制模块；通过先用信号发生器进行大范围频率扫描，找到调谐频率，根据测出四极杆的电容值和LC谐振频率计算公式算出需要调节的电感，再选择合适的磁芯数量，通过改变特殊设计的电感元件中的磁芯，调整到计算出的电感值，从而达到要求频率，实现谱峰的调节，进而省去了大体积可调电容，提高了系统稳定性，又能适应大范围快速寻找调谐点的需求，该发明具有低成本，高效，高质量解决技术问题等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 信号发生器 辅助 射频 电源 调谐 方法 | ||
【主权项】：
1.一种信号发生器辅助射频电源调谐方法，该方法包括：采用信号发生器输出扫描信号进行频率扫描，找到与四极杆总成产生谐振的射频电源频率，固定射频电源频率和电感值，选择标准电容代替所述四极杆总成，通过所述标准电容的串和/或并联，使所述标准电容与所述射频电源调谐，通过计算所述标准电容的电容值得到的电容值为四极杆总成的分布电容值；再次采用所述信号发生器输出扫描信号进行频率扫描，找到调谐频率，根据公式和所述四极 杆总成的分布电容值计算电感值，调节隔离变压器模块，调整为所计算出的电感值，调节所述信号发生器输出信号,实现谱峰的调节。
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